In ihrem Kongressbeitrag auf der ACHEMA stellt Dr. Heike Wünscher aus dem Fachbereich MEMS am Cis Forschungsinstitut, Forschungsergebnisse für die Passivierung von siliziumbasierten MEMS-Sensoren und deren Einsatz als Strömungssensor in rauen Umgebungen vor
In dieser Woche präsentieren wir auf der HM21 Digital Edition aktuelle Forschungsthemen und Projektergebnisse in der Entwicklung siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte
Der direkte Medienkontakt ist für siliziumbasierte Mikrosensoren aufwendig umzusetzen. Um die Miniaturisierung vollständig auszunutzen, wird der Korrosionsschutz auf Chipebene aufgebracht. Damit wird eine Anwendung in anspruchsvolleren Umgebungen auch ohne zusätzliche Schutzkonstruktionen möglich
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