Vom virtuellen Prototyping über innovative Sensortechnologien bis hin zur High-Tech-Anwendungen im Weltraum diskutierten die Teilnehmenden des CiS-MEMS-Workshops am 29. September2026 in Erfurt. Nach einer kurzen Begrüßung durch Dr. Olaf Brodersen (CiS e.V.) eröffnete Dr. Timo Kober (Endress+Hauser) mit seiner Keynote zum Thema „MEMS-Drucksensoren für die Prozessmesstechnik“ das Programm und setzte damit den Startpunkt für spannende Diskussionen.
In den folgenden Sessions standen technische Fragen und Entwicklungen im Mittelpunkt. Hier demonstrierte Dr. Bernhard Schwartz (CiS Forschungsinstitut) die Möglichkeiten der Entwicklung von Silizium-Drucksensoren mittels gekoppelter Multiphysik-Simulationen. Prof. Dr. Thomas Sattel (TU Ilmenau) erläuterte Dynamik- und Sensitivitätsbetrachtungen in MEMS-Sensoren und führte in die Grundlagen der Rasterkraftmikroskopie ein. Damit legte er die Basis, für den Vortrag von Dr. Bernd Hähnlein (CiS Forschungsinstitut), der über die Entwicklung von Diamantspitzen für MEMS-Anforderungen im CiS Forschungsinstitut berichtete. Einen weiteren Fachvortrag zur Prozessstabilität beim HF-Dampfätzen für hochempfindliche MEMS-Bauteile, stellte Dr. Indira Käpplinger (CiS Forschungsinstitut) vor.
Das Tandem Prof. Robert Täschner und Philipp Frenzel (Westsächsische Hochschule Zwickau) präsentierte Chip-basierte MEMS/MOEMS-Sensoren mit Palladium-Dünnschichten für die elektro-optische Detektion von Wasserstoff – auch in sauerstofffreien Atmosphären. Sie können mit einer skalierbaren Waferfertigung kosteneffizient umgesetzt werden und eröffnen durch zusätzliche Material-Kombinationen und Mikrostrukturierung mehrere Forschungsansätze zur anwendungsorientierten Verbesserung des Messbereichs und des Ansprechverhaltens.
Anschließend erläuterte Suhas Halthi Dakshira Muthi (Hochschule Schmalkalden) und Preisträger des Silicon Science Awards 2025, die Analyse multimodaler Umweltstressfaktoren bei MEMS-Inertialsensorsystemen.
Konkrete Anwendungen wurden in der zweiten Session vorgestellt.
Reinhard Jurisch (microsensys GmbH) zeigte anhand vieler Applikationsbeispiele, wie drahtlose RFID-Elemente zu autonomen Datenproduzenten werden. Andreas Grundmann (ICM Chemnitz) gab einen visuellen Einblick in die sensorbasierte Zustands- und Positionsüberwachung von Umformwerkzeugen bei der Innenhochdrucküberwachung. Bei einer Reise ins All erklärte Tobias Schopf (Micro-Epsilon Messtechnik GmbH) Anforderungen und Einsatz von Fast Steering Mirrors für die laserbasierte Satellitenkommunikation. Volker Hänsel (AVT Systems GmbH) beendete den Reigen der Vorträge. Sein Betrag beinhaltete Möglichkeiten der Untersuchung von fragilen Wafern mit integrierten ON-Wafer-Lösungen für eine robuste MEMS-Charakterisierung.
Mit den Schlussworten von Dr. Olaf Brodersen (CiS e.V.) fand ein intensiver und erfolgreicher Workshop seinen Abschluss. Inspiriert durch die Vorträge wurden in den gefühlt zu kurzen Pausen weiterdiskutiert und neue Kooperationsmöglichkeiten avisiert. Die Vernetzung von Wissenschaft und Industrie gewann auch in diesem in diesem Workshop eine besondere Bedeutung.
Fortgesetzt wurde die Workshopreihe am 1. Oktober 2026. Hier fand die fünfte Auflage des „CiS-NDIR-Workshops: von der Komponente bis zum System“ statt und stellte wieder Neues aus der Welt der optoelektronischen Sensoren vor. Experten aus Forschung und Industrie diskutierten aktuelle Entwicklungen, innovative Sensorkonzepte und zukünftige Anwendungen der NDIR- und Infrarotsensorik. Der intensive fachliche Austausch zeigte das große Potenzial der Technologie und bot wertvolle Impulse für zukünftige Kooperationen und gemeinsame Entwicklungsprojekte.
Vielen Dank an alle Referentinnen und Referenten sowie teilnehmenden Gästen beider CiS Workshops für den regen Austausch und spannenden Diskussionen.
