DMS in Keramik
| Akronym: | DMS in Keramik | |
| Projektlaufzeit: | 01.01.2024 - 30.06.2026 | |
| Beschreibung: | Es wird ein Differenzdrucksensor mit einer medienbeständigen Biegeplatte aus Keramik für nass-nass-Anwendungen entwickelt. Die Absicherung des Si-DMS bei Kontakt mit verschiedenen aggressiven Medien und mechanischer Manipulation bei Erhalt der Sensitivität des Sensors, ist ein ungelöstes Problem. Besonders kritisch sind die Kontaktpads und Drahtbonds. Bei der vorgeschlagenen Lösung wird das Si-DMS in eine Low Temperature Co-fired Ceramics integriert und mit gesintert. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF230066 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt DMS in Keramik: | ||
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Ölfreie Differenzdrucksensoren für Anwendungen in der Lebensmittelindustrie 17. Juli 2024 |
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