Zerstörungsfreie Bildauswertung durch KI-gestützte Bildauswertung
| Akronym: | ZEBA | |
| Projektlaufzeit: | 01.10.2025 - 31.03.2028 | |
| Beschreibung: | Ziel ist, einen KI-gestützten Prozessablauf zu erarbeiten, der in den Fertigungsprozess integrierbar ist und zerstörungsfrei Aussagen über den Erwartungswert des Berstdruckes des Einzelchips liefert. Der Berstdruck ist ein wichtiger Parameter bei Drucksensoren, da von ihm die Systemsicherheit von Messgeräten aber auch ganzen Anlagen in den Bereichen Lebensmitteln, Pharma, Energie und Chemie abhängt. Nach aktuellem Stand der Technik kann der Berstdruck nur zerstörend an einzelnen Prüfmustern bestimmt werden. Die Qualität des Siliziumdirektbondens ist neben dem Sensordesign der entscheidendende Parameter für die Höhe des Berstdruckes. Es wird nach Bild-Eigenschafts-Beziehungen geforscht, wobei bestimmte zerstörungsfreie bildgebende Prüfungen zwar qualitative Rückschlüsse auf das Berstverhalten erlauben, aber bisher kein physikalisch-analytisches Simulationsmodell zur Bestimmung des wahrscheinlichen Berstdruckes existiert und somit quantitative Aussagen nicht möglich sind. Ziel des Projektes ist es, einen KI-gestützten Prozessablauf zu erarbeiten, der in den Fertigungsprozess integrierbar ist und zerstörungsfrei Aussagen über den Erwartungswert des Berstdruckes des Einzelchips liefert. |
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| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Energie |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49VF250012 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt ZEBA: | ||
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Projektstart ZEBA: Zerstörungsfreie Bildauswertung durch KI-gestützte Bildgebung für die Ermittlung des Berstdruckes 26. November 2025 |
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