Miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chip
| Akronym: | MIREC | |
| Projektlaufzeit: | 01.04.2017 - 30.09.2019 | |
| Beschreibung: | Ziel des Projektes war die Entwicklung eines plasmaunterstützten Ätz-Prozesses zum gleichzeitigen Erzeugen einer dünnen funktionalen Membran und eines Bruchgrabens zur späteren Vereinzelung der Chips durch Herausbrechen. Anwendung findet dies bei MEMS-IR-Emittern, die damit gegenüber dem Stand der Technik um mehr als Faktor 4 kleinere Flächen und eine um Faktor 2 höhere Dynamik erreichen werden. Ein zusätzlicher Rückseitenspiegel erhöht die optische Ausbeute. Aufbau- und Verbindungstechnik wurden auf die Anforderungen dieser Bauteile angepasst und weiterentwickelt. Die Ergebnisse zeigen, dass durch ein optimiertes ICP-Ätzverfahren Emitter-Chips mit Kantenlängen unter 1mm hergestellt werden können. Das führt zu einer deutlichen Miniaturisierung, einer Vervielfachung der Stückzahl pro Wafer und damit zu einer Kostensenkung. Die Verkleinerung der Infrarot-Quelle zeigte auch in ihren optischen und elektrischen Eigenschaften eine gegenüber der am Markt erhältlichen Devices eine deutlich verbesserte Geschwindigkeit. |
|
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF160085 | |
News-Artikel zum Projekt MIREC: | ||
 |
CiS Forschungsinstitut stellt auf dem Thüringer Forum Mobilität in Ilmenau aus 14. September 2022 |
|
 |
Innovative Sensorik für Konzentrationsmessung von Gasen und Wasserstoff auf der Hannover Messe 2022 2. Juni 2022 |
|
 |
SPIE Photonics West 2022 in San Francisco 20. Januar 2022 |
|
 |
InnoCON Thüringen 2021 startet auch in 2021 online 30. November 2021 |
|
 |
Erfolgreiches FuE Projekt MIREC beim Innovationstag Mittelstand des BMWI 2021 14. Juni 2021 |
|
 |
Mid-Week Coffee Break – Ein virtuelles Technologiegespräch 12. Mai 2021 |
|
 |
Neues Verfahren zur Herstellung miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chips (MIREC) 10. Juli 2020 |
|
« zurück zur Projektübersicht
