Auf dem Innovationstag Mittelstand des BMWi 2021 präsentiert die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in der Rubrik Erfolgsbeispiele ihre Ergebnisse des Forschungsprojekts „Miniaturisierter Infra-Rot-Emitter-Chip“. Das innovative Projekt wurde im Rahmen des Programms INNO-KOM – Forschungsergebnisse für den Mittelstand gefördert. Auf der Veranstaltungsseite wird das Projekt dem Fokusthema Digitalisierung/künstliche Intelligenz zugeordnet. Erstmals findet dieses jährliche Schaufenster erfolgreicher und innovativer realisierter Projekte als digitale Veranstaltung statt.
https://innovationstag-mittelstand-bmwi.de/erfolgsbeispiele
Im Projekt MIREC wurde ein plasmaunterstütztem Ätz-Prozess entwickelt, mit welchem gleichzeitig eine dünne funktionale Membran und ein Bruchgraben für die folgende Chipvereinzelung erzeugt werden. Bei MEMS-IR-Emittern erhält man damit gegenüber dem Stand der Technik mehr als Faktor 4 kleinere Flächen und eine um Faktor 2 höhere Dynamik. Solche Baugruppen werden als Lichtquelle in optischen Gassensoren eingesetzt, wobei geringe Kosten bei gleichzeitig hoher optischer Leistung und schnellem Schaltverhalten gefordert sind. Mit den entwickelten nur 1 mm² kleinen Strahlern wurde eine langzeitstabile Emission > 10 mW und Dynamik über 100 Hz erreicht.
Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten im Projekt Miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chip (MIREC) wurden gefördert durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie.
FZK: 49MF160085
