High End Beschleunigungssensoren
| Akronym: | HEB | |
| Projektlaufzeit: | 01.04.2021 - 31.08.2023 | |
| Beschreibung: | Das Projekt beschäftigt sich mit der Entwicklung von sehr hochauflösenden kapazitiven Beschleunigungssensoren. Als Demonstrator-Ausführungsform werden statisch betriebene Neigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ angestrebt. Dazu werden Konzepte aus der Grundlagenforschung aufgegriffen und in kosteneffiziente Wafer-Level-Prozesse umgesetzt. Hauptmerkmale sind eine deutlich erhöhte seismische Masse, ein lateral angeordneter Differenzkondensator, sowie ein hermetisches Package. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49VF200064 | |
News-Artikel zum Projekt HEB: | ||
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Highlight des CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2024: Galvanisch getrennter Inkrementalsensor 18. April 2024 |
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High-End-Beschleunigungssensoren 27. März 2024 |
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Start für neues Vorlaufforschungsprojekt 22. Juni 2021 |
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