Entwicklung eines Bondverfahrens für innovative Reaktivsysteme mit dem Schwerpunkt einer laserbasierten Zündtechnologie, industrieller Zuverlässigkeit und Prozesssicherheit
Akronym: | RNFSys | |
Projektlaufzeit: | 01.12.2016 - 31.05.2019 | |
Beschreibung: | Das Teilvorhaben Entwicklung eines Bondverfahrens für innovative Reaktivsysteme war Bestandteil des Verbundvorhabens Reaktives Niedertemperatur-Fügeverfahren für den spannungsarmen Aufbau hochpräziser Sensorsysteme (RNFSys) zur Entwicklung eines reaktiven Niedertemperatur-Fügeverfahrens für den spannungsarmen Aufbau hochpräziser MEMS-Drucksensoren. Der Schwerpunkt lag in der Entwicklung einer serienreifen Zündtechnologie zur reaktiven Aktivierung (Zündung) der im Verbundprojekt entwickelten Reaktivschichtsysteme. Hierfür wurde am CiS Forschungsinstitut eine Anlage konzipiert und gefertigt, mit der es möglich ist, unter definierten technologischen Parametern RMS-Systeme mit einem hochenergetischen Laser impulsgeregelt zu zünden. Das Projekt wurde im Rahmen des BMBF-Programms KMU-Innovativ gefördert. |
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Gefördert durch: | BMBF | ![]() |
Projektträger: | VDI/VDE | |
Förderkennzeichen: | KMU15/418 |
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