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Archiv für die Kategorie: MEMS

Sie sind hier: Startseite1 / MEMS

NivLer – eine nachrüstbare Lösung für die Prozessdrucküberwachung

28. Januar 2026/in MEMS, Veranstaltungen

Im abgeschlossenen Projekt NivLer entwickelte Das CiS Forschungsinstitut eine nichtinvasive Nachrüstlösung für die Überwachung von Rohrsystemen in der Industrie. Der nachrüstbare Sensor unterstützt eine datenbasierte Wartungsoptimierung durch frühzeitiges Erkennen des Verschleißes und ist auch in Bereichen mit hoher hygienischer Anforderung wie in der Pharma- und Lebensmittelproduktion geeignet

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-01-28-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-01-28 07:57:282026-01-28 07:58:29NivLer – eine nachrüstbare Lösung für die Prozessdrucküberwachung

VACOM erhält Innovationspreis Thüringen 2025 für miniaturisierten Vakuumsensor CASSINI

19. Dezember 2025/in MEMS, Messtechnik

VACOM gewinnt den Thüringer Innovationspreis 2025 und setzt mit seinem neuen miniaturisierten Vakuumsensor CASSINI neue technologische Maßstäbe. Die wissenschaftlich-technologische Grundlage zum mikroelektromechanischen System (MEMS) wurde in gemeinsamen Forschungsprojekten mit dem CiS Forschungsinstitut gelegt

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-12-19-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-12-19 09:36:432025-12-19 09:36:44VACOM erhält Innovationspreis Thüringen 2025 für miniaturisierten Vakuumsensor CASSINI

Projektabschluss KTB: Komplexe Tools zur Bauelementesimulation

9. Dezember 2025/in Druck, MEMS

Im Projekt KTB wurden für die Simulation der Kennlinien vom MEMS-Bauelementen verschiedene Programme zu einem komplexen Simulationstool für die Entwicklung hochpräziser und langzeitstabiler Drucksensoren zusammengeführt, sodass ein durchgehender Simulationsablauf möglich ist

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-12-09-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-12-09 07:33:142025-12-09 07:33:46Projektabschluss KTB: Komplexe Tools zur Bauelementesimulation

Projektstart ZEBA: Zerstörungsfreie Bildauswertung durch KI-gestützte Bildgebung für die Ermittlung des Berstdruckes

26. November 2025/in Druck, MEMS

In dem neuen Forschungsprojekt „ZEBA“ wird nach Bild-Eigenschafts-Beziehungen geforscht und ein KI-gestützter Prozessablauf erarbeitet, der in den Fertigungsprozess integrierbar ist und zerstörungsfrei Aussagen über den Erwartungswert des Berstdruckes des Einzelchips liefert

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-11-26-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-11-26 10:26:152025-11-26 10:27:38Projektstart ZEBA: Zerstörungsfreie Bildauswertung durch KI-gestützte Bildgebung für die Ermittlung des Berstdruckes

Debüt auf der Precision Fair in den Niederlanden

7. November 2025/in Druck, IR, Kraft, MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Am 12. und 13.November 2025 findet die 24. Präzisionsmesse „Precision Fair“ in den Brabanthallen ’s-Hertogenbosch statt. Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik ist auf dem Gemeinschaftsstand der LEG -Thüringen in Halle 6 Stand 202 erstmals als Aussteller mit dabei

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-11-07-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-11-07 07:00:002025-11-06 14:07:01Debüt auf der Precision Fair in den Niederlanden

Vier Posterbeiträge auf dem MikroSystemTechnik Kongress 2025

27. Oktober 2025/in MEMS, MOEMS, Simulation & Design, Veranstaltungen

Unter dem Motto „Wandel durch Fortschritt“ startet heute der MikroSystemTechnik Kongress 2025 in Duisburg. Das CiS Forschungsinstitut präsentiert in der 11. Auflage des Kongresses eine Auswahl seiner Forschungsergebnisse in vier Postern aus dem Bereichen Simulation, Dehnmesssensoren und IR-Emitter

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-10-27-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-10-27 11:04:322025-10-27 11:04:33Vier Posterbeiträge auf dem MikroSystemTechnik Kongress 2025

Projektstart für Aufbau Si-Druckwandler mit glaskeramischen Komponenten (ADAM)

15. Oktober 2025/in Druck, MEMS

In dem Forschungsprojekt ADAM sollen durch den Einsatz glaskeramischer Komponenten, Eigenschaften von Drucksensoren wie beispielsweise chemische Beständigkeit oder die Einsatztemperatur verbessert werden. Voraussetzung ist hierfür die Optimierung der Fügetechniken, die umfassend getestet werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-10-15-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-10-15 07:00:002025-10-15 11:00:00Projektstart für Aufbau Si-Druckwandler mit glaskeramischen Komponenten (ADAM)

Projektstart PaRiS – Polysilizium basierte Resonante Mikrosensoren

7. Oktober 2025/in Druck, MEMS

Das neue Forschungsvorhaben PaRiS legt den Fokus auf die Entwicklung technologischer Komplexe zur Herstellung von Resonatorstrukturen für resonante Sensoren auf Basis polykristallinen Siliziums für den Einsatz als Drucksensor

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-10-07-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-10-07 12:41:062025-10-07 12:42:16Projektstart PaRiS – Polysilizium basierte Resonante Mikrosensoren

Siliziumbasierte MEMS-Sensorik: Trends und Applikationen – der MEMS Workshop 2025

24. September 2025/in MEMS, Veranstaltungen

Experten aus Forschung und Industrie trafen sich am 17. September 2025 in Erfurt, um aktuelle Themen und Innovationen der siliziumbasierter MEMS-Technologien zu diskutieren. Die spannenden Beiträge aus Industrie und Wissenschaft gaben Anregungen für intensive Pausengespräche und neue Kontakte. Der Workshop bestätigte zum wiederholten Mal die Bedeutung von MEMS-Technologien für zukünftige industrielle Entwicklungen und zeigte konkrete Anwendungen

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-09-24-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-09-24 07:06:372025-09-24 07:06:37Siliziumbasierte MEMS-Sensorik: Trends und Applikationen – der MEMS Workshop 2025

MEMS-IR-Emitter-Entwicklung mittels digitalem Zwilling – CiS Forschungsinstitut stellt auf 17. Erfurter TechnologieDialog aus

28. August 2025/in IR, MEMS, MOEMS, Politik, Veranstaltungen

Unter dem Motto „Digitaler Zwilling in eine zukunftsfähige Produktion“ trafen sich am 27. August 2025 Vertreter aus Wirtschaft, Forschung und Politik im Comcenter Brühl zum 17. Erfurter TechnologieDialog.
In der begleitenden Ausstellung präsentiert das CiS Forschungsinstitut einen Teil seines Forschungs- und Leistungsportfolios sowie Ergebnisse aus dem Forschungsprojekt FIRE

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-08-28-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-08-28 12:39:492025-08-28 12:39:49MEMS-IR-Emitter-Entwicklung mittels digitalem Zwilling – CiS Forschungsinstitut stellt auf 17. Erfurter TechnologieDialog aus
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  • Projektstart oLGAD: Low Gain Avalanche Detektor mit ultradünnen Oxiden

    22. Juli 2026
  • Projektabschluss HIVOS: Hybrid integrierte optische Sensoren auf Basis vorstrukturierter Adhäsivschichten

    15. Juli 2026
  • Infrarotes Mikrosensorsystem für die Fluidiküberwachung

    8. Juli 2026
  • Projektabschluss KoSenDi: Kompakte Sensoreinheit zur Messung von Magnetfeldern mittels Diamantfluoreszenz

    2. Juli 2026
  • Interaktive Experimente bei der Ilmenauer Wissenschaftsnacht 2026

    23. Juni 2026

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