Wir sind Ihr Partner für Industrieforschung und Entwicklung von siliziumbasierten Sensoren.
Sie profitieren von unserer langjährigen Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung. Wir bieten eine geschlossene in-Haus-Wertschöpfungskette vom Design bis zur Fertigung.
Tätigkeitsschwerpunkte sind MEMS und MOEMS mit höchster Stabilität und Zuverlässigkeit.
Sie erhalten angepasste kundenspezifische Lösungen für Ihre Sensorsysteme, sowie die Fertigung in Kleinserien und die Qualifikation der Zuverlässigkeit und Lebensdauer.
Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2015
Aktuelles
Projektabschluss InOxA: Innovative Oxidaufbauten für die Passivierung der Grenzflächen von Silizium12. August 2026Im Forschungsprojekt InOxA wurde der in der Silizium-Photovoltaik entwickelte TOPCon-Kontakt auf Sensordioden übertragen. Hierzu wurde auf das Grundmaterial ein dünnes Barriere-Oxid und hochdotiertes Polysilizium aufgebracht, so dass der Kontakt auch gleichzeitig der Passivierung der aktiven Fläche und des Substratkontakts dient [weiterlesen]
Projektabschluss PJS: Piezo-junction-Effekt basierte on-chip Multi-Sensoren5. August 2026Piezo-junction Sensoren messen gleichzeitig Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Vibration - ideal für Anwendung in den Bereichen Prozessmesstechnik, Kraftwerke, Öl und Gas, Luft und Raumfahrt. Im abgeschlossenen Forschungsprojekt PJS wurden verschiedene Einflussfaktoren und Abhängigkeiten für einen optimalen pn-Übergang untersucht [weiterlesen]
Projektstart CryoMAG-RX: Präziser Temperatursensor für kryogene Temperaturen29. Juli 2026Eine Eigenschaft von siliziumbasierten Halbleiterwiderständen als Temperatursensoren ist die Beeinflussung des Widerstandes durch magnetische Felder. Das neue Forschungsprojekt CryoMAG-RX fokussiert auf die Realisierung eines einfach zu prozessierenden Temperatursensors auf Waferebene, wobei die Lage eines variabel einstellbaren Temperaturreferenzpunktes sowie die Kennlinienform durch ein konstant wirkendes Magnetfeld anwendungsorientiert oder messtechnisch günstig beeinflusst werden kann [weiterlesen]
Projektstart oLGAD: Low Gain Avalanche Detektor mit ultradünnen Oxiden22. Juli 2026Im neuen Forschungsprojekt oLGAD untersuchen wir Schichtsysteme zur Verbesserung der Perfomance von Detektoren, welche den Dunkelstrom verringern und die Empfindlichkeit für die Detektion niederenergetischer Elektronen erhöhen [weiterlesen]
Projektabschluss HIVOS: Hybrid integrierte optische Sensoren auf Basis vorstrukturierter Adhäsivschichten15. Juli 2026Im Forschungsprojekt HIVOS wurde das Zusammenspiel verschiedener, vorstrukturierter Adhäsivschichten in Kombination mit hochpräzisen Fügetechnologien und automatisierter Montageprozesse für die Hybridmontage komplexer optoelektronischer Mikrosysteme untersucht. Neu entwickelte Automatisierungslösungen erlauben nun die vollständige automatische Montage von Baugruppen auf Wafer- bzw. Nutzenlevel und verringern somit wesentlich die Prozesszeiten [weiterlesen]
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| 07.09.2026 - 11.09.2026: Ilmenauer Physiksommer "Von der Materie zum Material" Ilmenau, Deutschland [+Cal] |
| 16.09.2026 - 18.09.2026: Sensor China Expo & Conference Shanghai, China [+Cal] |
| 16.09.2026 - 18.09.2026: Electronica India Bengaluru, Indien [+Cal] |
| 21.09.2026 - 24.09.2026: ESREF 2026 - 37th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis Wien, Österreich [+Cal] |
| 23.09.2026 - 25.09.2026: COMSOL Conference 2026 Cambridge, UK [+Cal] |
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