Wir sind Ihr Partner für Industrieforschung und Entwicklung von siliziumbasierten Sensoren.
Sie profitieren von unserer langjährigen Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung. Wir bieten eine geschlossene in-Haus-Wertschöpfungskette vom Design bis zur Fertigung.
Tätigkeitsschwerpunkte sind MEMS und MOEMS mit höchster Stabilität und Zuverlässigkeit.
Sie erhalten angepasste kundenspezifische Lösungen für Ihre Sensorsysteme, sowie die Fertigung in Kleinserien und die Qualifikation der Zuverlässigkeit und Lebensdauer.
Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2015
Aktuelles
Projektabschluss Brechzahlsensor – Verfahren zur Inhaltsanalyse und Qualitätsüberwachung verschiedener flüssiger Medien9. Oktober 2025In dem abgeschlossenen Forschungsprojekt wurde ein neuer optischer Sensor zur hochgenauen Bestimmung von Brechzahländerungen entwickelt. Das Messprinzip beruht nach Laseranregung auf der Korrelation von Speckle-Mustern, welche mithilfe von Bildsensoren erfasst werden [weiterlesen]
Projektstart PaRiS – Polysilizium basierte Resonante Mikrosensoren7. Oktober 2025Das neue Forschungsvorhaben PaRiS legt den Fokus auf die Entwicklung technologischer Komplexe zur Herstellung von Resonatorstrukturen für resonante Sensoren auf Basis polykristallinen Siliziums für den Einsatz als Drucksensor [weiterlesen]
MOEMS-Workshop „Key Technologies for Photonic Quantum Systems” am 22.10.20251. Oktober 2025Im internationalen Jahr der Quantenwissenschaft und Quantentechnologien richten wir unseren diesjährigen MOEMS-Workshop auf das Thema „Key Technologies for Photonic Quantum Systems“ aus. Experten aus der Wissenschaft, angewandten Forschung und Industrie finden hier eine Plattform für den Austausch und neue Kooperationen [weiterlesen]
Siliziumbasierte MEMS-Sensorik: Trends und Applikationen – der MEMS Workshop 202524. September 2025Experten aus Forschung und Industrie trafen sich am 17. September 2025 in Erfurt, um aktuelle Themen und Innovationen der siliziumbasierter MEMS-Technologien zu diskutieren. Die spannenden Beiträge aus Industrie und Wissenschaft gaben Anregungen für intensive Pausengespräche und neue Kontakte. Der Workshop bestätigte zum wiederholten Mal die Bedeutung von MEMS-Technologien für zukünftige industrielle Entwicklungen und zeigte konkrete Anwendungen [weiterlesen]
Stadtradeln für ein gutes Klima19. September 2025Mehr als 100 Teams erzielten beim diesjährigen Stadtradeln in Erfurt mit ihren 828.122 Kilometern eine neue Rekordmarke und sparten so insgesamt 136 Tonnen CO2. Mit dabei war auch das 16-köpfige Team des CiS Forschungsinstituts, das etwa 3.000 Kilometer im Aktionszeitraum erradeln konnte [weiterlesen]
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| 12.10.2025 - 16.10.2025: 248th ECS Meeting Chicago, USA [+Cal] |
| 16.10.2025 - 17.10.2025: IMAPS Herbstkonferenz 2025 München, Deutschland [+Cal] |
| 21.10.2025 - 22.10.2025: elmug4future-Technologiekonferenz Jena, Deutschland [+Cal] |
| 22.10.2025: CiS MOEMS Workshop: Key technologies for Photonic Quantum Systems Erfurt, Deutschland [+Cal] |
| 27.10.2025 - 29.10.2025: 11. MikroSystemTechnik Kongress 2025 Duisburg, Deutschland [+Cal] |
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