Wir sind Ihr Partner für Industrieforschung und Entwicklung von siliziumbasierten Sensoren.
Sie profitieren von unserer langjährigen Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung. Wir bieten eine geschlossene in-Haus-Wertschöpfungskette vom Design bis zur Fertigung.
Tätigkeitsschwerpunkte sind MEMS und MOEMS mit höchster Stabilität und Zuverlässigkeit.
Sie erhalten angepasste kundenspezifische Lösungen für Ihre Sensorsysteme, sowie die Fertigung in Kleinserien und die Qualifikation der Zuverlässigkeit und Lebensdauer.
Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2015
Aktuelles
Wettbewerbsfähiger Deutscher Quantenrechner (CoGeQ): Teilvorhaben mit Aufbau der Demonstratoren erfolgreich abgeschlossen20. Mai 2026Auf der Quantum Photonics 2026 in Erfurt wurden Anfang Mai die Abschlussergebnisse der Forschungsarbeiten des Projekts „CoGeQ“ vorgestellt. Das Verbundprojekt hatte sich das Ziel gesetzt, einen mobilen spinbasierten Quantenprozessor auf Basis von NV-Zentren in Diamant zu demonstrieren. Das CiS Forschungsinstitut verantwortete den Bereich Aufbau- und Verbindungstechnik und entwickelte eine effiziente Montage der Schichtstapel aus Diamantchip und Siliziuminterposer [weiterlesen]
Projektstart aQuSiS: Akzeptorbasierte Quantensysteme in Silizium12. Mai 2026Als Grundbaustein für siliziumbasierte Quantentechnologie werden aktuell Farbzentren wie das G- oder T-Zentrum in Silizium verwendet. Im Forschungsprojekt aQuSiS sollen erstmals Indium-basierte Akzeptor-Fehlstellen als leicht zugängliche Quantensysteme realisiert werden. Der Verständnisgewinn zum Aufbau sowie der Wirkungsweise dieses elementaren Quantenbausteins kann perspektivisch als Grundlage für eine fortgeführte Integration in moderne Quantentechnologien dienen [weiterlesen]
Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung6. Mai 2026Die Messzelle ist für die Bestimmung des Restammoniakgehalts in einem trockenen N2/H2-Gasgemisch, eine Mischung aus Stickstoff (N2) und Wasserstoff (H2), mit 75 Vol% Wasserstoff ausgelegt und soll eine Überwachung in Echtzeit erlauben. Die entwickelte Lösung basiert auf innovativen thermischen Emittern und arbeitet ohne Chopper. Kundenspezifische Sensorelemente können schnell integriert werden [weiterlesen]
CiS Forschungsinstitut erneut Aussteller auf der Quantum Photonics29. April 2026Am 5. und 6. Mai 2026 präsentiert das CiS Forschungsinstitut am Stand 615 in Halle 2 der Messe Erfurt sein Portfolio bei Quantentechnologien. Dr. Mario Bähr, Wissenschaftler am CiS Forschungsinstitut, wird am Dienstag um 15:15 Uhr im Rahmen eines Coffee Pitches über „Enabling Technologies for Quantum Applications“ sprechen [weiterlesen]
Technologien für die Zukunft: CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 202620. April 2026Unsere Experten zeigen in den nächsten fünf Tagen neue Projektergebnisse und Anwendungen siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte in Halle 13 auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand der LEG (Stand E24) in Hannover [weiterlesen]
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| 08.06.2026 - 12.06.2026: Defects in Solids for Quantum Technologies Budapest, Ungarn [+Cal] |
| 09.06.2026 - 11.06.2026: SENSOR+TEST Nürnberg, Deutschland [+Cal] |
| 09.06.2026 - 10.06.2026: 23. ITG/GMA-Fachtagung "Sensoren und Messsysteme 2026" Nürnberg, Deutschland [+Cal] |
| 21.09.2026 - 24.09.2026: ESREF 2026 - 37th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis Wien, Österreich [+Cal] |
| 27.09.2026 - 02.10.2026: GADEST 2026 San Servolo, Italien [+Cal] |
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