Wir sind Ihr Partner für Industrieforschung und Entwicklung von siliziumbasierten Sensoren.
Sie profitieren von unserer langjährigen Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung. Wir bieten eine geschlossene in-Haus-Wertschöpfungskette vom Design bis zur Fertigung.

Tätigkeitsschwerpunkte sind MEMS und MOEMS mit höchster Stabilität und Zuverlässigkeit.
Sie erhalten angepasste kundenspezifische Lösungen für Ihre Sensorsysteme, sowie die Fertigung in Kleinserien und die Qualifikation der Zuverlässigkeit und Lebensdauer.

Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2015

Aktuelles

  • Siliziumbasierte Mikrosensorik in Nürnberg auf der SENSOR+TEST
    Vom 9. bis 11. Juni 2026 ist das CiS Forschungsinstitut erneut beim internationalen Treffpunkt für Sensorik, Mess- und Prüftechnik in Nürnberg als Aussteller dabei. Auf der SENSOR+TEST 2026 können interessierte Besucher in Halle 1 am Stand 501 auch in diesem Jahr unsere Experten treffen und neuste Forschungsergebnisse der siliziumbasierten Mikrosensorik diskutieren. Auf der 23. ITG/GMA-Fachtagung "Sensoren und Messsysteme 2026", der wissenschaftlichen Begleitkonferenz im Nürnberg Convention Center West (NCC West), ist das CiS Forschungsinstitut mit vier wissenschaftlichen Beiträgen vertreten [weiterlesen]
  • Projektstart Pash-Sense: Entwicklung eines hochempfindlichen Wasserstoffsensors auf Basis einer Palladium-Silizium-Schottky-Diode
    Für die frühzeitige Detektion von Wasserstoff-Leckagen im Spurenbereich entwickelt das CiS Forschungsinstitut einen neuartigen, hochempfindlichen Sensor auf Basis einer Pd/Si-Schottky-Diode mit integrierter Heizstruktur. Um die für dieses Bauteil erforderliche fehlerfreie Fertigung abzusichern, kommt das im Investprojekt „TechWB“ neu bewilligte Waferinspektionssystem für die hochpräzise Defektanalyse im Submikrometerbereich zum Einsatz [weiterlesen]
  • Wettbewerbsfähiger Deutscher Quantenrechner (CoGeQ): Teilvorhaben mit Aufbau der Demonstratoren erfolgreich abgeschlossen
    Auf der Quantum Photonics 2026 in Erfurt wurden Anfang Mai die Abschlussergebnisse der Forschungsarbeiten des Projekts „CoGeQ“ vorgestellt. Das Verbundprojekt hatte sich das Ziel gesetzt, einen mobilen spinbasierten Quantenprozessor auf Basis von NV-Zentren in Diamant zu demonstrieren. Das CiS Forschungsinstitut verantwortete den Bereich Aufbau- und Verbindungstechnik und entwickelte eine effiziente Montage der Schichtstapel aus Diamantchip und Siliziuminterposer [weiterlesen]
  • Projektstart aQuSiS: Akzeptorbasierte Quantensysteme in Silizium
    Als Grundbaustein für siliziumbasierte Quantentechnologie werden aktuell Farbzentren wie das G- oder T-Zentrum in Silizium verwendet. Im Forschungsprojekt aQuSiS sollen erstmals Indium-basierte Akzeptor-Fehlstellen als leicht zugängliche Quantensysteme realisiert werden. Der Verständnisgewinn zum Aufbau sowie der Wirkungsweise dieses elementaren Quantenbausteins kann perspektivisch als Grundlage für eine fortgeführte Integration in moderne Quantentechnologien dienen [weiterlesen]
  • Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung
    Die Messzelle ist für die Bestimmung des Restammoniakgehalts in einem trockenen N2/H2-Gasgemisch, eine Mischung aus Stickstoff (N2) und Wasserstoff (H2), mit 75 Vol% Wasserstoff ausgelegt und soll eine Überwachung in Echtzeit erlauben. Die entwickelte Lösung basiert auf innovativen thermischen Emittern und arbeitet ohne Chopper. Kundenspezifische Sensorelemente können schnell integriert werden [weiterlesen]
Termine
01.06.2026 - 05.06.2026:
The 17th IEEE Workshop on Low-Temperature Electronics
Giardini Naxos, Italien [+Cal]
08.06.2026 - 12.06.2026:
Defects in Solids for Quantum Technologies
Budapest, Ungarn [+Cal]
09.06.2026 - 11.06.2026:
SENSOR+TEST
Nürnberg, Deutschland [+Cal]
09.06.2026 - 10.06.2026:
23. ITG/GMA-Fachtagung "Sensoren und Messsysteme 2026"
Nürnberg, Deutschland [+Cal]
21.09.2026 - 24.09.2026:
ESREF 2026 - 37th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis
Wien, Österreich [+Cal]
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