Projekt: Innovative Hochtemperatur-Technologie – ressourcenschonend, energieeffizient und emissionsarm
Mit den aktuellen Herausforderungen einer fortschreitenden Klimaveränderung werden zunehmend Sensoren nachgefragt, die entweder der Temperatur- und Gassensorik dienen oder den effizienten Einsatz von Energie und Rohstoffen über intelligente Mess- und Regelsysteme regulieren oder gar selbst grundsätzlich energieeffizient arbeiten. Das CiS Forschungsinstitut engagiert sich gemeinsam mit Partner aus der Industrie und Forschung im Bereich der Sensorik, im klassischen MEMS-und MOEMS-Bereichen, sowie im Bereich der Quantentechnologien und für die Nutzung von grünem Wasserstoff als wertvoller Energieträger für die energieintensive Prozesse in der Industrie. Hierfür werden Sensoren, die für die Elektrolyse von Wasser, der Speicherung und Leckagedetektion von grünem Wasserstoff in den verschiedenen Anlagen eingesetzt werden können, benötigt. Die Herstellung dieser Sensoren erfordert größtenteils energieintensive Prozesse innerhalb der Wertschöpfungskette von dem Ausgangsmaterial Silizium bis zum fertigen Sensor.
Um hier die Energieeffizienz zu verbessern, investiert das CiS Forschungsinstitut mit Unterstützung des Landes Thüringen und einer Kofinanzierung aus Mitteln der Europäische Union für regionale Entwicklung (EFRE) und von REACT-EU in eine moderne Hochtemperatur- Anlage der neuesten Generation. Sie bietet verschiedene Möglichkeiten zum flexiblen Einsatz in der Schichterzeugung auf großflächigen Substraten bei gleichzeitiger Verringerung des Energieeinsatzes. Ein vollautomatisches Waferhandlingsystem komplettiert diese Anlage.
Zudem verfügt sie über eine Schnittstelle zur computergestützten Prozessparametererfassung und -beeinflussung. Verbunden mit der Möglichkeit der Fernüberwachung wird die weitere Digitalisierung der Prozesskontrolle innerhalb des CiS Forschungsinstitutes vorangetrieben.
Die Investition in diese moderne Hochtemperaturanlage mit einer ressourcenschonenden Prozessführung stärkt langfristig die Wirtschaftsfähigkeit des CiS Forschungsinstituts und unterstützt damit Partner aus Industrie und Forschung.
Das Projekt gehört zum Spezialisierungsfeld Nachhaltige Energie und Ressourenverwendung der RIS3 Thüringen. Es leistet einen Beitrag zur Vorbereitung einer grünen, digitalen und stabilen Erholung der Wirtschaft, inclusive Forschung und Entwicklung, die zu diesem Ziel oder zu einer Stärkung des Gesundheitssystems beiträgt.
