Projekt: OptiMikro
Vorhabens-Nr.: 2025 WIN 0002
Vorhabenzeitraum: 01.08.2025 bis 31.11.2026
Die Anforderungen der Industrie an Mikrosysteme hinsichtlich Präzision, Miniaturisierung und Medienkompatibilität steigen stetig. Für diese Entwicklungen sind in der Wertschöpfungskette modernste Ausrüstungen notwendig.
Die geplante Geräteinvestitionen des CiS Forschungsinstituts müssen einerseits industriellen Standards entsprechen und andererseits eine Vielzahl von Parametern und Anpassungen gestatten, um kundenspezifische Umsetzungen zu erfüllen und Prototypen zu fertigen. Das neue Equipment ermöglicht eine durchgängige hochmoderne Prozesskette und kombiniert Lithographie-Prozesse mit Aufbau und Verbindungstechniken bis zur abschließenden Charakterisierung. Damit verbunden ist zugleich eine verbesserte Material- und Energieeffizienz in der Wertschöpfung sowie ein aktiver Beitrag zum Umwelt- und Klimaschutz bei der Entwicklung innovativer Sensorkonzepte.
Das Vorhaben gehört zum Spezialisierungsfeld „Industrielle Produktion und Systeme “ der Regionalen Innovationsstrategie für intelligente Spezialisierung und wirtschaftlichen Wandel in Thüringen (RIS Thüringen).
Das vom Freistaat Thüringen geförderte Vorhaben wurde durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) unterstützt.
Dieses Projekt wurde kofinanziert von der Europäischen Union.
