Projekt: HiPr6-Sens – High Precision 6″-Nassprozessplattform für die innovative Mikrosystem-Sensorik
Vorhabens-Nr.: 2026 WIN 0001
Vorhabenzeitraum: 15.07.2026 bis 30.11.2027
Der internationale Stand der Technik in der Mikrosystemtechnik und Halbleiterfertigung ist aktuell durch einen massiven Trend zur weiteren Miniaturisierung bei gleichzeitiger Erhöhung der Materialkomplexität geprägt. Um hochempfindliche Sensorelemente, wie sie in der Quantentechnologie oder der hochpräzisen Medizintechnik benötigt werden, stabil zu fertigen, haben sich die Anforderungen an die nasschemische Oberflächenbearbeitung erhöht. Zunehmend ist ein Wandel von rein zeitgesteuerten manuellen Reinigungsschritten hin zu sensorüberwachten und datengestützten Prozessumgebungen zu beobachten.
Mit der Investition in eine neue Nassbank-Infrastruktur im CiS Forschungsinstitut werden diese Forderungen erfüllt. Die modulare Infrastruktur ermöglicht die am CiS Forschungsinstitut entwickelten Prototypen auf einen industrierelevanten Waferformat zu validieren und damit direkt in Fertigungslinien zu transferieren.
Der Zuschuss in Höhe von ca. 1.000.000 € ist zweckgebunden für Investitionen in eine forschungsbezogene Infrastruktur. Das Vorhaben gehört zum Spezialisierungsfeld „Industrielle Produktion und Systeme“ der Regionalen Innovationstrategie für intelligente Spezialisierung und wirtschaftlichen Wandel in Thüringen (RIS Thüringen).
Dieses Projekt wurde kofinanziert von der Europäischen Union.
