Projekt: Sensorentwicklung – zukunftsorientiert und produktionsnah (ZuSe)
Als Entwicklungspartner von KMUs legen wir Wert auf kompakte, robuste und zuverlässige Sensorkonzepte für opto-elektrische und elektro-mechanische Messprinzipien, die den maximal möglichen Kriterien der Nachhaltigkeit sowohl in der Fertigung und im Einsatzfall entsprechen. Dafür sind Investitionen in verschiedene Technologieschritte der Sensorfertigung notwendig. Hierbei werden die aktuellen Herausforderungen unter wirtschaftlichen sowie unter energie- und ressourceneffizienten Aspekten bereits im Entwicklungsprozess ganzheitlich betrachtet und berücksichtigt.
Im Vordergrund der Modernisierung stehen dabei spezielle Bond-Technologien für neue komplexe 3D-Strukturen, Trockenätzprozesse, Sägeprozesse unter produktionsnahen Bedingungen. Ein wesentlicher Aspekt für die Beschaffung der neuen Anlagen ist die Digitalisierungsmöglichkeit. Relevante Messwerte und Parameter werden während der Prozesse in einer zentralen Datenbank erfasst. Dies ermöglicht eine kontinuierliche Prozesskontrolle und schafft die Voraussetzungen für eine zunehmend automatisierte Umsetzung.
Mit der Anbindung an eine adäquate Gassteuerung und -kontrolle wurden die Grundlagen für eine sichere und ressourcenschonende Entwicklungsumgebung geschaffen.
Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wurden durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE) gefördert – finanziert aus Mitteln des Sondervermögens „Infrastruktur und Klimaneutralität“ des Bundes.
