Fachkundige Experten aus Forschung und Industrie trafen sich am 17.09.2025 in Erfurt, um aktuelle Themen und Innovationen der siliziumbasierten MEMS-Technologie zu diskutieren. Nach der Vorstellung und Einführung durch Prof. Thomas Ortlepp, Geschäftsführer des CiS Forschungsinstitutes, eröffnete Prof. Klaus-Stefan Drese von der Hochschule Coburg seine Keynote mit der Frage: Ist Sensorik ein Trend? Ein zentraler Aspekt war dabei die wachsende Bedeutung der Sensorik in einer digitalen Informationsgesellschaft im Kontext von KI-basierten Entscheidungsprozessen. Für KMUs ergeben sich hier mit der Spezialisierung auf Nischenmärkte neue Chancen. Zudem werden nachhaltige Materialien und umweltfreundliche Chemikalien immer wichtiger.
In der ersten Session „Design und Simulation“ gab Fachbereichsleiter Geert Brokmann CiS Forschungsinstitut) einen Überblick über moderne Simulationstools für die MEMS-Sensorentwicklungen. Ein Schwerpunkt lag dabei auf der Modellierung verschiedener physikalische Effekte. Anschließend erläuterte Konstanze Olschewski (Alpha Analytics) innovative Ansätze zur Analyse komplexer Sensordaten mittel KI.
Session zwei konzentrierte sich Themen zu Prozesstechnologien und Messtechnik. Dr. Heike Wünscher aus unserem Haus, erklärte zwei verschiedene Messprinzipien zur Bestimmung des NH3-Gehaltes in NH3-Chrackers. Dr. Thomas Frank Fachbereichsleiter MEMS (CiS Forschungsinstitut) informierte umfassend über Silizium-basierte Dehnungsmesssensoren als universelles Messmedium für Druck- und Kraftmessungen.
Die dritte Session zielte auf Applikationen und Märkte. Ein neues Mess- und Sensorkonzept, welches keine elektrische Hilfsenergie zur Messung, Speicherung, Digitalisierung benötigt, stellte Dr. Philip Schmitt (Ruhr-Universität Bochum) vor. Anwendungen von hochgenauen und präzisen Drucksensoren in der Prozessindustrie demonstrierten Alexander Will (WIKA) sowie Dr. Olaf Skerl (BIOTRONIK) in der Medizintechnik.
Die spannenden Beiträge aus Industrie und Wissenschaft gaben viele Anregungen für intensive Pausengespräche und neue Kontakte. Der Workshop bestätigte zum wiederholten Mal die Bedeutung der MEMS-Technologien für zukünftige industrielle Entwicklungen und zeigte konkrete Anwendungen.
Moderiert und organisiert wurde der Workshop vom CiS e.V.