Unter dem Motto „Wandel durch Fortschritt“ startet heute der MikroSystemTechnik Kongress 2025 in Duisburg. Mehr als 1.000 Teilnehmende aus Forschung, Industrie und Politik diskutieren über aktuelle Entwicklungen und Trends in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik entlang der gesamten Wertschöpfungskette. Das CiS Forschungsinstitut präsentiert in der 11. Auflage des Kongresses in 3 Postersessions einen Ausschnitt seines Portfolios.
In der Postersession „Mikrosensoren“ erläutert Dr. Thomas Frank, Fachbereichsleiter MEMS am Institut, Untersuchungen zu siliziumbasierten Dehnmesssensoren, im speziellen zu „Effizienter Zustandsüberwachung mit Si-DMS und RFID-Technologie: Ein autarkes RF-basiertes oberflächenmontierbares Messsystem“ sowie zur „Minimierung thermischer Einflüsse bei Si-DMS“.
Dr. Li Long beschäftigte sich mit Eigenspannungen bei MEMS-Mehrschichtsystemen und stellt Ergebnisse in der Postersession „Modellierung und Simulation“ im Poster „Modeling and extraction of residual stresses in MEMS multilayer systems“ vor.
Über Molybdändisilizid-Heizschichten berichtet Julia Baldauf in ihrem Poster zu „Changes in molybdenum disilicide heating layers in miniaturized infrared emitting devices caused by long term current stressing“.
