Über neue Möglichkeiten, die sich durch Technologien zur dreidimensionalen Strukturierung von Silizium ergeben, berichtet Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS am CiS Forschungsinstitut, am Montag, dem 30. März 2026 um 15:00 Uhr in einem Webinar. In dem einstündigen Optica-Online-Seminar erläutert er nach einem kurzen Einblick in die Technologien, anhand von Beispielen die realisierbaren neuen Funktionen. Dazu gehören unter anderem:
- geneigte aktive Oberflächen, die als Lichtwinkelsensoren verwendet werden
- freie äußere Konturen des Chips
- Hohlräume, in denen Lichtquellen wie LEDs oder Laser integriert sind
- Öffnungen, durch die optische Elemente, Fasern oder freie Strahlen hindurchtreten können
- teiltransparente Fotodioden
Vor allem in Kombination mit MEMS-Technologien können neue Funktionen sowie anwendungsspezifische Designs realisiert werden.
Das Webinar richtet sich an Ingenieure und Wissenschaftler aus Entwicklungsabteilungen, die bereits Grundkenntnisse zu dieser Thematik besitzen.
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