Siliziumbasierte Mikrosensoren für Industrie, Medizin- und Umwelttechnik

24.06.2019

Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist eine im Jahr 1993 gegründete gemeinnützige wirtschaftsnahe Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Entwicklung von Silizium-Technologien für hochwertige Mikrosensoren und Mikrosensorsysteme sowie extrem strahlungsharter Siliziumdetektoren. Auf der Sensor+Test 2019 zeigt das CiS Forschungsinstitut aktuelle Entwicklungen und Forschungsergebnisse aus den Geschäftsfeldern MEMS, MOEMS und Siliziumdetektoren für Anwendungen in Industrie, Medizin- und Umwelttechnik.

Sensoren für kundenspezifische Applikationen in den Bereichen Industrie 4.0, Energie sowie Mobilität bilden den Schwerpunkt im Geschäftsfeld MEMS. Auf der Basis von piezoresistiven MEMS-Sensoren können 3D-Kraftsensoren miniaturisiert werden. Weiterhin werden Si-DMS und Temperaturdioden vorgestellt, die für Temperaturen bis 300 °C einsetzbar sind. Durch die Anwendung von innovativen Konzepten der Aufbau- und Verbindungstechnik werden Differenzdrucksensoren für den Einsatz in rauhen Umgebungsbedingungen qualifiziert.
 
Im MOEMS-Bereich konnten innovative Lösungen für die Montage und Systemgestaltung von UV-LEDs entwickelt werden. Durch Silizium-Packages erhöht sich dabei gleichzeitig die Ausbeute des nutzbaren Lichts um bis zu Faktor 3 und es wird eine optimale Wärmeabfuhr der empfindlichen Leuchtdioden realisiert. Neue Lösungen für die hybride und auf Waferebene basierte Montage, die auch auf IR-Komponenten übertragbar sind, wurden entwickelt. Damit ist das CiS Forschungsinstitut in der Lage, die im Haus entwickelten MEMS-IR-Strahler, Optiken und Detektoren in äußerst kompakter und hermetisch dichter Bauform z.B. für die Anwendung in Gassensoren bereitzustellen. Auf dieser Basis liegt der Fokus aktuell auf der Entwicklung von Miniaturspektrometern für den IR-Bereich.
 
Im Geschäftsfeld SiDE entstehen Siliziumdetektoren, die sehr hohe Anforderungen für Anwendungen in der Hochenergie- und Schwerionen-Physik erfüllen. Für den Nachweis kosmischer Strahlung sind extrem strahlenharte, großflächige und dünne Pixel- und doppelseitige Mikrostreifendetektoren notwendig. Die vollständige inhouse-Wertschöpfungskette vom Design bis zum Test und Analytik bietet höchste Perfomance. Neue Herausforderungen ergeben sich bei der Entwicklung von Einzelphotonendetektoren und Modulen für Anwendungen in Quantenbasierten Mess- und Analysesystemen.
 

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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
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