Der MikroSystemTechnik Kongress ist eine gemeinsame Veranstaltung des Bundesministeriums für Bildung und Forschung und des VDE – Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V.
Vom 28. bis 30. Oktober 2019 präsentieren Mitarbeiter des CiS Forschungsinstituts in drei der angebotenen Sessions aktuelle Entwicklungsergebnisse zu optischen Mikrosystemen, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Messtechnik:
P3: Optische Mikrosysteme
„Spektral durchstimmbarer Mikrosensor für die Gasanalyse“ sowie
„Toleranzanalyse für photonische Kristalle aus Silizium“
S13: Aufbau- und Verbindungstechnik I
„Flip-Chip-Montage zum Aufbau von Differenzdrucksensoren“
S22: Messtechnik, Test, Zuverlässigkeit II
„Erweiterung des Anwendungsbereiches von Siliziumdehnungssensoren durch Montageträger“
