
Mikro-Laserbeleuchtung für die Analytik
/in Analytik, MOEMS, WaferprozessierungDie CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH zeigt auf der Fachmesse Sensor+Test eine Mikro-Laserbeleuchtung für die Analytik: Laserlicht hat besondere Eigenschaften. Sein Strahl lässt sich eng über weite Entfernungen führen und sein Spektrum ist sehr rein. Diese Eigenschaften werden mit der Mikro-Laserbeleuchtung für kleine Sensoren nutzbar gemacht
Piezoresistive Hochtemperatur-Druckwandlerkerne
/in AVT, Druck, MEMSDie hochpräzise Prozessmesstechnik steht mit Einsatztemperaturen von bis zu 300°C vor neuen Herausforderungen. Anlagen- und Messtechnikproduzenten wollen mit MEMS-basierten Druckwandlerkernen Funktionserweiterungen und neue Gestaltungsräume erschließen.
Die passenenden Mikrosystemtechnologien dazu hat jetzt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik aus Erfurt entwickelt
Thüringen beteiligt sich an Europäischem Netzwerk zur Produktion smarter Systeme
/in MEMS, MOEMSDas EU-Projekt SMARTER-SI soll europaweit eine neuartige Fertigungsplattform für Mikrosysteme anbieten, auf der innovative und intelligente Sensorsysteme in kleinen und mittleren Stückzahlen kostengünstig gefertigt werden können. Spezielle Technologien für die Herstellung mechanischer und optischer Sensoren aus Silizium, kurz MEMS und MOEMS, kommen vom CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik aus Erfurt
Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor
/in MOEMS, VeranstaltungenQualitätsbewertung und Prozesskontrolle sind wichtige Werkzeuge bei der Produktion qualitativ hochwertiger Erzeugnisse. Bei der Oberflächenbeschichtung ist es erforderlich, wesentliche Eigenschaften der aufgebrachten Schichten zu bestimmen. Dies schließt die Schichtdicke und den Brechungsindex ein.
Der im CiS Forschungsinstitut entwickelte kompakte Sensor misst die polarisationsabhängige Reflexion von zwei verschiedenen Single-Mode-Lasern unter geneigten Einfallswinkeln
Kooperation zwischen CiS Forschungsinstitut GmbH und der Yokohama National University in Japan
/in PersonalieDr. Thomas Ortlepp übernimmt die Leitung des neu geschaffenen Lehrstuhls für Sensorik und energieeffiziente Mikroelektronik an der Yokohama National University in Japan
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Gründungsmitglied der deutschen Industrieforschungsgemeinschaft „Konrad-Zuse e.V.“
/in CiS allgemeinDieser wichtige Zusammenschluss schafft erstmals eine gemeinsame Plattform für die industrienahen außeruniversitären Forschungspartner des Mittelstandes
Nachwuchsforscherpreis für Dr. Gerrit Heinrich
/in PersonalieDr. Gerrit Heinrich, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, gewann mit seinem Thema „Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption“ den Nachwuchsforscherpreis 2014
Mikro-Laserbeleuchtung für die Analytik
/in Analytik, Medizintechnik, MOEMSLaserlicht hat besondere Eigenschaften. Sein Strahl lässt sich eng über weite Entfernungen führen und sein Spektrum ist sehr rein. Diese Eigenschaften werden mit der Mikro-Laserbeleuchtung für kleine Sensoren nutzbar gemacht. Entwicklungsziel ist es, die Länge der Baugruppe mit 1,4 mm kleiner als einen Stecknadelkopf zu machen und den Strahl mit 300 μm enger als den Nadeldurchmesser zu führen
Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor
/in MOEMS, VeranstaltungenDas CiS Forschungsinstitut stellt auf den Fachmessen electronica und COMPAMED den Status einer aktuellen Sensorentwicklung zur Bestimmung der Dicke und der Brechungsindizes dünnen Oberflächenschichten vor, wobei letzteres eng von der chemischen und/oder stöchiometrischen Zusammensetzung der verwendeten Beschichtungsmaterialen abhängt
Halbleiterkomplexmessplatz
/in Druck, MesstechnikMit hohem messtechnischem Aufwand werden Fertigungstechnologie sowie Sensoren geprüft und charakterisiert, um die gewünschten Eigenschaften langzeitstabil nachweisen zu können. Unterschiedliche Messverfahren werden hierzu benötigt. Einen Meilenstein zur Charakterisierung von Technologien und Sensoren stellt der neue Halbleiterkomplexmessplatz dar