Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor
Das CiS Forschungsinstitut stellt auf den Fachmessen electronica und COMPAMED den Status einer aktuellen Sensorentwicklung zur Bestimmung der Dicke und der Brechungsindizes dünnen Oberflächenschichten vor, wobei letzteres eng von der chemischen und/oder stöchiometrischen Zusammensetzung der verwendeten Beschichtungsmaterialen abhängt
Halbleiterkomplexmessplatz
Mit hohem messtechnischem Aufwand werden Fertigungstechnologie sowie Sensoren geprüft und charakterisiert, um die gewünschten Eigenschaften langzeitstabil nachweisen zu können. Unterschiedliche Messverfahren werden hierzu benötigt. Einen Meilenstein zur Charakterisierung von Technologien und Sensoren stellt der neue Halbleiterkomplexmessplatz dar
Vitalparametersensor für Schmerzpatienten
Ein mobiles Biofeedback-System, welches im äußeren Gehörgang gemessene Vitalparameter des Patienten aufnimmt, diese mit Hilfe einer Smartphone-App analysiert und individuell bewertet, hat das CiS Forschungsinstitut gemeinsam mit Medizinern und Industriepartnern entwickelt
Mikro-Laser-Doppler Sensoren für Blutflussmessungen
Das CiS Forschungsinstitut startet Entwicklungen zu einem miniaturisierten optischen Sensor für Untersuchungen der Blutflussgeschwindigkeit in der Haut. Das Sensorprinzip basiert auf dem Laser-Doppler-Verfahren
Piezoresistive Mikrotaster zur Inline-Oberflächeninspektion in industriellen Fertigungsprozessen
Hohe Abtastraten und geringe Antastkraft verbindet ein neuer miniaturisierter Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke. Die kraftabhängige Auslenkung bewirkt eine Änderung der mechanischen Spannung, welche piezoresistiv ausgewertet wird
Pixeldetektoren für die Teilchen- und Astrophysik – Entwicklung und Fertigung besonders strahlenharter Teilchendetektoren
Das CiS hat seit 1996 verschiedene Technologien und Detektoren zur Spurverfolgung der Teilchen in Großexperimenten besonders ATLAS, CMS und ALICE am CERN, CMB am GSI / FAIR und DESY entwickelt
Mehrkanal-Fluoreszenz- und Absorptions-Sensorsystem für die Mikrofluidik
Das entwickelte Sensorsystem enthält vier Kanäle mit je einer Anregungs-LED, optischen Filtern und Detektoren für die Messung der Lichttransmission und Fluoreszenz. Dabei sind die Kanäle so ausgelegt, dass sie weite Bereiche des sichtbaren Spektrums abdecken und somit für den Nachweis vieler verschiedener Substanzen einsetzbar sind
Schaltbares Miniatur-Elektrodenarray zur Impedanzanalyse von Flüssigkeiten und Zellkulturen
Die neu konzipierten dreidimensionalen Mikro-Interdigitalstrukturen dienen im Kontext mit mehreren Projekten dazu, erstens die Leitfähigkeit von Flüssigkeiten und Suspensionen zu messen, um mit der Kombination anderer Analyseverfahren deren Zusammensetzung zu analysieren. Dies ist zum Beispiel für den Einsatz in Biogasanlagen interessant
Optische Strahler-Empfänger-Module als planare Mikrosysteme
Ein modulares Technologiekonzept ermöglicht die effiziente Entwicklung von optischen Sensoren mit eingebetteten Lichtquellen, Mikrooptiken zur Strahlformung oder -lenkung, optischen Filtern und einem optimierten Detektor-Array
Piezoresistive Hochtemperatur-Druckwandlerkerne
Das Projekt HotDru befasst sich mit der Entwicklung serienfertigungstauglicher Hochtemperaturdrucksensorsysteme mit einer Einsatztemperatur von bis zu 300°C. Die neu entwickelten Drucksensorchips werden in verschiedenen Versionen realisiert, die als Grundaufbau alle auf dem „Silicon on Insulator“ (SOI)-Prinzip beruhen
