Infrarotaktive Bauelemente in MOEMS-basierten Sensorbaugruppen z. B. für die Gassensorik oder kontaktlose Temperaturmesssysteme gewinnen immer mehr an Bedeutung. Für den Aufbau noch effizienterer IR-Komponenten und für die Anwendung unter erschwerten Bedingungen kommen aktuelle Montagetechnologien an ihre technischen Grenzen. Die Motivation für den Start des neuen ZIM-Projektes „IR-Batch“ ist darum die Entwicklung von Montagetechnologien für IR-aktive Halbleiterbauelemente unter Nutzung polymerfreier Fügetechnologien bestehend aus Halbleiterbauteil (IR-Strahler/-Empfänger), Keramik-Package und vorzugsweise hermetisch dichter Verkappung mit optischen Fenstern und Spezialgasfüllung. Dabei soll eine zuverlässige Lösung auch für hohe Einsatztemperaturen, Vakuum-Bedingungen und Harsh Media Applikationen erreicht werden. Speziell für Vakuum-Technologien müssen alle Fügematerialien polymerfrei, respektive Ausgasungsfrei sein – dazu zählen die Diebondung, die Fügung der Filterelemente/optische Fenster sowie die Verkapselung.
Im Rahmen des Projektes wird eine spezielle thermische Prototyp-Anlage sowie die konkreten Montagetechnologien und Prozesse entwickelt und an verschiedenen Demonstratoren evaluiert.
Das CiS Forschungsinstitut ist für die Technologienentwicklung verantwortlich.
