Der Berstdruck ist ein wichtiger Parameter bei Drucksensoren, da von ihm die Systemsicherheit von Messgeräten aber auch ganzen Anlagen in den Bereichen Lebensmitteln, Pharma, Energie und Chemie abhängt. Nach aktuellem Stand der Technik kann der Berstdruck nur zerstörend an einzelnen Prüfmustern bestimmt werden. Die Qualität des Siliziumdirektbondens ist neben dem Sensordesign der entscheidende Parameter für die Höhe des Berstdruckes.
In dem neuen Forschungsprojekt „ZEBA“ wird nach Bild-Eigenschafts-Beziehungen geforscht, wobei bestimmte zerstörungsfreie bildgebende Prüfungen zwar qualitative Rückschlüsse auf das Berstverhalten erlauben, aber bisher kein physikalisch-analytisches Simulationsmodell zur Bestimmung des wahrscheinlichen Berstdruckes existiert und somit quantitative Aussagen nicht möglich sind. Mit den Untersuchungen soll ein KI-gestützter Prozessablauf erarbeitet werden, der in den Fertigungsprozess integrierbar ist und zerstörungsfrei Aussagen über den Erwartungswert des Berstdruckes des Einzelchips liefert.
Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wurden im Forschungsprojekt „Zerstörungsfreie Bildauswertung durch KI-gestützte Bildgebung“ (ZEBA) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE) gefördert.
FKZ: 49VF250012
