Am 12. und 13.November 2025 findet die 24. Präzisionsmesse „Precision Fair“ in den Brabanthallen ’s-Hertogenbosch statt. Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik ist erstmals als Aussteller mit dabei auf dem Gemeinschaftsstand der LEG -Thüringen in Halle 6 Stand 202. Dr. Martin Schädel und Dr. Klaus Ettrich, Geschäftsfeldleiter der Bereiche MOEMS und MEMS, präsentieren hier einen Ausschnitt aus dem umfangreichen Forschungs- und Entwicklungsportfolio des Instituts. Als Spezialist und mit mehr als 30 Jahren Erfahrung entwickeln wir kundenspezifische siliziumbasierte Sensorelemente für mechanische und optische Größen durch monolithische Integration sensorischer Funktionen. Unsere Expertise liegt vor allem doppelseitige und dreidimensionale Mikrostrukturierung sowie die Abscheidung funktionaler Schichten auf Silizium. Erfahren Sie mehr über unsere Kompetenzen und Potenziale für Ihren Erfolg. Wir freuen auf Ihren Besuch. Unsere Highlights:
Verbesserung der Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren (SiDMeses)
Durch Minimierung der Montagespannungen und dem Erreichen hoher Überlastfestigkeiten weisen die hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren eine verbesserte Stabilität auf. Diese Sensoren ermöglichen sehr präzise Messungen in einer Vielzahl von Anwendungen von der Automatisierungstechnik bis zur Wasserstoffwirtschaft.
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Drucksensor für Ultra-Höchstdruckanwendungen (DSNemo)
Traditionell verwenden Drucksensoren eine Biegeplatte zur Vergrößerung der Empfindlichkeit. Für Ultra-Höchstdruckanwendungen ist eine Biegeplatte nicht notwendig und der Aufbau wird wesentlich verkleinert. Die neue Technologieplattform bietet viele Potential, u.a. eine Frontplatte mit Durchmesser von 1 mm, Druckbereich bis ca. 20.000 bar, Messspanne von > 20 mV/V, maximale Einsatztemperatur von 200 °C.
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Galvanisch getrennter Inkrementalsensor (GalGIS)
Der galvanische Inkrementalsensor kann in optischen Encodern für Positions- und Geschwindigkeitssensoren eingesetzt werden – insbesondere dort wo hohe technische Sicherheit gefordert wird – beispielsweise in Luft- und Raumfahrt, Schienenverkehr und Medizintechnik.
Dieses Projektergebnis wird zudem auch in der Hall of Fame im Eingangsbereich zu besichtigen sein und auf dem Stand H6-202 demonstriert.
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Flinkes Infrarot-Emitter-Array (FIRE)
Infrarot-Strahler mit Dynamik größer 100 Hz sind eine weitere Neuentwicklung aus dem CiS Forschungsinstitut. Das flinke Infrarot-Emitter-Array ist für Anwendungen in der nicht-dispersiven Infrarotspektroskopie (NDIR) zur Gasdetektion und -konzentration für medizinische und industrielle Anwendungen geeignet.
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Diese internationale Leitmesse in den Niederlanden ist eine der wichtigsten Plattformen Europas für mehr als 400 Unternehmen und Forschungseinrichtungen aus 21 Ländern entlang der gesamten Wertschöpfungskette auf dem Gebiet der Hoch- und Ultrahoch-Präzisionstechnik. In diesem Jahr liegt der Schwerpunkt auf 6 zentralen Themenfeldern: Mechatronik und Systeme, Messtechnik, Vakuum und Reinraumtechnik, Mikroverarbeitung und, Bewegungstechnik, Laser und Photonik sowie Fertigung für höchste Präzision.
Folgende Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wurden gefördert durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie:
Verbesserung der Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren (SiDMeses) – FKZ 49MF200061
Drucksensor für Ultra-Höchstdruckanwendungen (DSNemo) – FKZ 49MF220036
Galvanisch getrennter Inkrementalsensor (GalGIS) – FKZ: 49VF123456
Flinkes Infrarot-Emitter-Array (FIRE) – FKZ: 49MF220020
