Auf dem Innovationstag Mittelstand präsentiert das CiS Forschungsinstitut am 13. Juni 2024 in Berlin die Ergebnisse des Forschungsprojektes „SiDMeses“. Ziel war hierbei die Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren zu verbessern. Dabei konzentrierten sich die Forschungsarbeiten darauf, Montagespannungen zu minimieren und hohe Überlastfestigkeiten zu erreichen
Während der nächste Woche startenden Hannover Messe stellt das CiS Forschungsinstitut auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand in Halle 3, Stand D76 einen galvanisch getrennten Inkrementalsensor vor. Im Rahmen des Förderprojektes GalGiS wurden neue Siliziumtechnologien entwickelt, um eine solche galvanische Trennung bereits auf Chipebene zu erreichen
Im Forschungsvorhaben SiDMeses konnte die Langzeitstabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren durch einen gezielten und beschleunigten Abbau der mechanischen Montagespannung signifikant verbessert und ein präziser extrem paralleler und symmetrischer Aufbau erzeugt werden
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