Messaufbau:
An der z-Achse eines CNC Tisches befindet sich die Interdigitalstruktur mit einem zusätzlichen Berührungs-Sensor; die Einheit kann auf die beschichtete oder unbeschichtete Waferoberfläche abgesenkt werden. Es können die Dicke der Beschichtung und die Leitfähigkeit des Wafers gemessen werden.
Das CiS besitzt eine langjährige Kompetenz auf dem Gebiet der Impedanzsensorik. Neben dem klassischen Gebiet der Feuchtemessung werden neue Anwendungsfelder erschlossen.
Beispiele sind unter anderem die Untersuchung von Materialeigenschaften wie z.B. die Charakterisierung von ADL/CVD Beschichtungen mit einigen nm Dicke oder der Dotierung von Wafern zur Kontrolle von Herstellungsprozessen in der Halbleiterindustrie.
Eine Vielfalt von Anwendungsmöglichkeiten bietet auch die Biotechnologie. Dazu zählt die Überwachung von Zellen unter dem Einfluss von toxischen Substanzen für die Bestimmung der Biokompatibilität von Substanzen und Produkten.
Bitte besuchen Sie uns auf der Messe SENSOR+TEST 2012,
MNT-Thüringer Gemeinschaftsstand Halle 12, Stand 226
