Regelmäßig vergibt der CiS e.V. gemeinsam mit der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH den Silicon Science Award für herausragende wissenschaftliche Leistungen auf dem Gebieten der Mikrosystemtechnik. Der CiS e.V. will NachwuchswissenschaftlerInnen ermutigen, sich mit diesen Themen und Forschungsaufgaben auseinander zu setzen und ihre Arbeiten einer breiten Öffentlichkeit vorzustellen.
Insgesamt stellen die Stifter 4.000€ Preisgeld zur Verfügung für verschiedene Kategorien. In diesem Jahr dürfen sich 3 Preisträger über die Auszeichnung freuen.
In der Kategorie Bachelorarbeiten wird die Arbeit von Frau Sonja Wismath, TU Darmstadt, Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik prämiert. Sie überzeugte mit dem Thema „Aufbau eines in eine Hohlnadel integrierten Kraftsensors“. Dafür nutzte sie piezoresistive Dehnungselemente auf Siliziumbasis und entwickelte einen innovativen Herstellungsprozess, der patentiert (DE 10 2017 105 053 1) und am 13.09.2018 veröffentlicht wurde.
In der Kategorie Dissertationen werden 2 Preisträger gekürt.
Die Dissertation „Optische Kohärenztomographie mit extrem ultravioletter Strahlung“ von Herrn Dr. Silvio Fuchs beinhaltet einen Beitrag über die Entwicklung eines neuartigen Verfahrens zur zerstörungsfreien nanoskaligen Abbildung 3-dimensionaler Strukturen. Das Verfahren ist im gegenwärtigen Entwicklungsstadium besonders zur Abbildung schichtartiger Strukturen in siliziumbasierten Proben, einschließlich der Identifikation der Materialien geeignet. Erste Unternehmen haben bereits Interesse an der Nutzung signalisiert. Herr Dr. Fuchs erarbeitete seine Dissertation an der FSU Jena, Institut für Optik und Quantenelektronik. Zusammen mit 2 Kollegen gründete er das Spin-off-Unternehmen „Indigo Optical Systems GmbH“ vor 2 Jahren, welches XUV-Messtechnik entwickelt, produziert und vertreibt.
Ebenfalls prämiert wird die Dissertation von Herrn Dr. Robert Täschner. Sein Thema „Prozess- und Sensorentwicklung für fertigungsgerechte hochtemperaturtaugliche Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis“ umfasst einen wissenschaftlich fundierten und in vielen Aspekten praxisrelevanten Beitrag zum Entwurf miniaturisierter Drucksensoren für Einsatzbereiche bis 300°C. Im Mittelpunkt seiner Untersuchungen steht konsequent der Nachweis von Prozesstauglichkeit und damit Serienfertigung. Mit einer hohen Variantenvielfalt an Experimenten sowie umfangreicher mechanischer und elektrischer Tests werden quantitativ statistische Aussagen abgesichert. Herr Dr. Täschner fertigte seine Dissertation an der TU Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, an.
Die nächste Auslobung des Silicon Science Awards erfolgt Anfang 2021. Prämierungen können in den Kategorien Bachelor-, Master- und Diplomarbeiten sowie Dissertationen vergeben werden. Alle Arbeiten, die eingereicht werden, sind in Zeitraum September 2019 bis zur Einreichungstermin 30.03.2021 entstanden.
Prof. Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut), Dr. Silvio Fuchs (FSU Jena), Geert Brokmann (CiS e.V.)
