Zum Abschluss unserer 3-teiligen hybrid durchgeführten Workshop-Reihe wurde am 26.09.2023 das Thema „Modellierung in der Mikrosystemtechnik“ intensiv beleuchtet. Vertreter aus Wissenschaft und Wirtschaft diskutierten über Verfahren, Software und den Einsatz künstlicher Intelligenz für die Simulation und das Design von Silizium-MEMS- und -MOEMS.
Prof. Thomas Ortlepp, Geschäftsführer des CiS Forschungsinstitutes begrüßte die Teilnehmenden herzlich, gewährte einen kurzen Einblick in die hauseigene Wertschöpfungskette und betonte die essentielle Rolle der Modellierung für alle nachfolgenden Prozesse, um zuverlässige, stabile und kostengünstige Produkte zu kreieren.
Als Keynote-Speaker sprach Prof. Peter Schneider, Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen IIS, über die Herausforderungen und Perspektiven für die Entwicklung adaptiver und mikroelektronischer Systeme. Zuverlässige Simulationswerkzeuge sind eine Voraussetzung für die Unterstützung des Entwurfs von Bauelementen und Systemen durch umfassende Modellierung auf allen Ebenen.
Das CiS Forschungsinstitut stellte in drei Beträgen, spezifische halbleiterphysikalische Simulationswerkzeuge sowie Projektergebnisse vor.
Dr. Bernhard Schwartz berichtete über die Fortschritte in der Modellierung piezoresistiver Messbrücken. Zudem wurden die Herausforderungen des typischen Ansatzes zur Berechnung diffundierter piezoresistiver Widerstände und Lösungsansätze aufgezeigt. Zum besseren Abgleich von Simulation und Messung wurde ein quantenmechanischer Ansatz gewählt und gezeigt, dass die Leitfähigkeit und somit auch die Piezokoeffizienten aus der Bandstruktur von Silizium berechnet werden können.
In einem weiteren Beitrag erläuterte Dr. Martin Jahn, anhand konkreter Anwendungsbeispiele verschiedene Optiksimulationstools. Diese wurden miteinander verglichen und die Kopplung optischer Simulationen mit der halbleiterphysikalischen Modellierung demonstriert.
Den Abschlussvortrag übernahm Dominik Karolewski, ebenfalls aus dem CiS Forschungsinstitut. Er erläuterte die Ermittlung von Materialparametern bei polykristallinem Silizium am Beispiel piezoresistiver Koeffizienten.
Der Schwerpunkt des Workshops lag auf dem Gebiet der siliziumbasierten Mikrosysteme und bot allen Teilnehmenden spannende Beiträge und viel Gelegenheit zum Austauschen und Netzwerken.
Damit endet die diesjährige Workshop-Reihe des CiS. Auch 2024 werden wir wieder ähnliche Veranstaltungen zu neuen Themen anbieten.
