Infrarot-Emitter auf der Basis von MEMS-Technologien sind für die meisten Anwendungen der infraroten Gasmesstechnik die beste Wahl. Allerdings sind am Markt verfügbare Emitter in ihrer Ausgangsleistung, Stabilität und Effizienz noch zu begrenzt, um weitere Anwendungsgebiete im Bereich organischer Verbindungen zu erschließen.
Das neue Forschungsprojekt EiS am CiS Forschungsinstitut dient der Entwicklung neuer Technologien für optisch verbesserte IR-Emitter. Ein innovativer Schichtstapel soll einen erhöhten Absorptions- bzw. Emissionsgrad für einen ausgewählten, für die Gasdetektion relevanten IR-Spektralbereich ermöglichen. Dieser wird in einem MEMS-IR-Emitter umgesetzt, welcher zudem eine hohe Dynamik und Lebensdauer besitzen soll. Der Schichtstapel soll auch für unterschiedliche Spektralbereiche im IR-Bereich adaptierbar sein, wofür gleichzeitig ein validiertes materialgestütztes Vorhersagemodell entwickelt wird. Angestrebt wird dabei ein noch weiter miniaturisierter und kostengünstigerer Chip, der mindestens dieselbe Lichtausbeute bisheriger Chips aufweist und damit neue Anwendungsgebiete erschließen kann.
Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wurden im Forschungsprojekt „Entwicklung innovativer Schichtstapel MEMS-IR-Emitter“ (EiS) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE) gefördert.
FKZ: 49MF250046
