Ölfreie Differenzdrucksensoren für Anwendungen in der Lebensmittelindustrie
Ziel des neuen Projektes „DMS in Keramik“ ist es, einen Prozess für einen Differenzdrucksensor mit einer medienbeständiger Biegeplatte aus Keramik und integriertem Si-DMS zu entwickeln. Durch eine vollständige Integration des Si-DMS während der Laminierung der Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) ist dieser hermetisch dicht eingeschlossen und geschützt vor mechanischer Manipulation