Verminderung thermischer Einflüsse auf das Messsignal bei hybrid aufgebauten Sensoren
Ziel des neuen Forschungsprojektes Flunder ist es zu untersuchen, wie durch geeignete Maßnahmen, eine minimale Temperaturabhängigkeit des Messsignals bei hybrid aufgebauten monokristallinen Silizium-Dehnungsmesssensoren (SiDMS) erreicht werden kann