HEB – CiS

Highlights zur Sensor+Test 2024 in Nürnberg

30. Mai 2024/in MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Vom 11. bis 13.06.2024 freuen wir uns auf einen inspirierenden Dialog mit Ihnen auf unserem Messetand der SENSOR+TEST in Nürnberg. Wir präsentieren aktuelle Forschungsergebnisse in der Entwicklung sehr hochauflösender kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensoren für Neigungs- bzw. Nivellierungsmessungen sowie spezieller Tandemdioden für ein kompaktes Stehende-Wellen-Interferometer. Zeitgleich findet die 22. GMA-Tagung statt. Hier stellt das CiS Forschungsinstitut ein Drucksensorkonzept auf Diamantbasis vor und referiert in einem 2. Vortrag über schnelle IR-MEMS-Strahler für NDIR-Anwendungen

Highlight des CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2024: Galvanisch getrennter Inkrementalsensor

18. April 2024/in Druck, IR, UV, Veranstaltungen

Während der nächste Woche startenden Hannover Messe stellt das CiS Forschungsinstitut auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand in Halle 3, Stand D76 einen galvanisch getrennten Inkrementalsensor vor. Im Rahmen des Förderprojektes GalGiS wurden neue Siliziumtechnologien entwickelt, um eine solche galvanische Trennung bereits auf Chipebene zu erreichen

High-End-Beschleunigungssensoren

27. März 2024/in MEMS

Das Projekt beschäftigte sich mit der Entwicklung von kapazitiven Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ auf der Basis von Chip-Level-Prozessen. Hauptmerkmale sind eine deutlich erhöhte seismische Masse, ein lateral angeordneter Differenzkondensator, sowie ein hermetisches Package

Start für neues Vorlaufforschungsprojekt

22. Juni 2021/in Medizintechnik, MEMS, Messtechnik, Waferprozessierung

Start für das Vorlaufforschungsprojekt „High-End Beschleunigungssensoren“(HEB) – Das Vorhaben zielt auf die Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Fertigungsprozesses für hochauflösende kapazitive MEMS Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ zur kosteneffizienten Anwendung als Neigungssensor

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