Silizium basierte piezoresistive Sensoren mit einer minimalen Brückengrundverstimmung
Das neue F&E-Projekt miniOffset konzentriert auf die Entwicklung einer siliziumbasierten piezoresistiven Technologieplattform mit minimalen Brückengrundverstimmung. Basis bilden CMOS/MEMS-kompatible Materialien verknüpft mit kostengünstigen Herstellungsprozessen
