Projektstart Pash-Sense: Entwicklung eines hochempfindlichen Wasserstoffsensors auf Basis einer Palladium-Silizium-Schottky-Diode
Für die frühzeitige Detektion von Wasserstoff-Leckagen im Spurenbereich entwickelt das CiS Forschungsinstitut einen neuartigen, hochempfindlichen Sensor auf Basis einer Pd/Si-Schottky-Diode mit integrierter Heizstruktur. Um die für dieses Bauteil erforderliche fehlerfreie Fertigung abzusichern, kommt das im Investprojekt „TechWB“ neu bewilligte Waferinspektionssystem für die hochpräzise Defektanalyse im Submikrometerbereich zum Einsatz
