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Schlagwortarchiv für: VAMIS

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Beiträge

Berührungslose, interferometrische Abstandsmessung

20. Mai 2012/in AVT, MOEMS

Technologien aus der Mikrosystemtechnik und der Mikrooptik bilden die Grundlagen für die erfolgreiche Miniaturisierung eines neuen, interferometrischen Abstandsmesssystems der TETRA GmbH aus Ilmenau. Das Kernstück, bestehend aus einem Michelsen-Laserinterferometer und einem optischen Siliziumdetektor, entwickelte der Mechatronikspezialist gemeinsam mit dem Applikationszentrum Mikrooptische Systeme am CiS Forschungsinstitut

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2012-05-20-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2012-05-20 12:32:002021-02-23 12:40:50Berührungslose, interferometrische Abstandsmessung

Interferometrischer Drucksensor

19. Mai 2012/in MEMS, Waferprozessierung

Mittels MEMS-Wafertechnologien und einem Silizium-Photodiodenarray mit eingebetteter Laserlichtquelle (naked VCSEL) ist es dem CiS Forschungsinstitut gelungen, die komplette optische Abtastung der druckempfindlichen, Membran (Silizum) in einem sehr flachen Bauraum – vergleichbar mit kapazitiven oder piezoresistiven Sensoren – zu integrieren

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2012-05-19-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2012-05-19 12:42:002021-02-23 13:23:31Interferometrischer Drucksensor
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  • Wirtschaftsstaatssekretär Mario Suckert besucht das CiS Forschungsinstitut

    21. Mai 2025
  • Freezing-out-Effekt – Vortrag auf der microTEC Clusterkonferenz 2025

    19. Mai 2025
  • Quantum Photonics feiert Premiere in Erfurt – CiS Forschungsinstitut dabei

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    6. Mai 2025

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