Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor
Das CiS Forschungsinstitut stellt auf den Fachmessen electronica und COMPAMED den Status einer aktuellen Sensorentwicklung zur Bestimmung der Dicke und der Brechungsindizes dünnen Oberflächenschichten vor, wobei letzteres eng von der chemischen und/oder stöchiometrischen Zusammensetzung der verwendeten Beschichtungsmaterialen abhängt

