VACOM gewinnt den Thüringer Innovationspreis 2025 und setzt mit seinem neuen miniaturisierten Vakuumsensor CASSINI neue technologische Maßstäbe. Die wissenschaftlich-technologische Grundlage zum mikroelektromechanischen System (MEMS) wurde in gemeinsamen Forschungsprojekten mit dem CiS Forschungsinstitut gelegt
Im Projekt KTB wurden für die Simulation der Kennlinien vom MEMS-Bauelementen verschiedene Programme zu einem komplexen Simulationstool für die Entwicklung hochpräziser und langzeitstabiler Drucksensoren zusammengeführt, sodass ein durchgehender Simulationsablauf möglich ist
In dem neuen Forschungsprojekt „ZEBA“ wird nach Bild-Eigenschafts-Beziehungen geforscht und ein KI-gestützter Prozessablauf erarbeitet, der in den Fertigungsprozess integrierbar ist und zerstörungsfrei Aussagen über den Erwartungswert des Berstdruckes des Einzelchips liefert
Am 12. und 13.November 2025 findet die 24. Präzisionsmesse „Precision Fair“ in den Brabanthallen ’s-Hertogenbosch statt. Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik ist auf dem Gemeinschaftsstand der LEG -Thüringen in Halle 6 Stand 202 erstmals als Aussteller mit dabei
Unter dem Motto „Wandel durch Fortschritt“ startet heute der MikroSystemTechnik Kongress 2025 in Duisburg. Das CiS Forschungsinstitut präsentiert in der 11. Auflage des Kongresses eine Auswahl seiner Forschungsergebnisse in vier Postern aus dem Bereichen Simulation, Dehnmesssensoren und IR-Emitter
In dem Forschungsprojekt ADAM sollen durch den Einsatz glaskeramischer Komponenten, Eigenschaften von Drucksensoren wie beispielsweise chemische Beständigkeit oder die Einsatztemperatur verbessert werden. Voraussetzung ist hierfür die Optimierung der Fügetechniken, die umfassend getestet werden
Das neue Forschungsvorhaben PaRiS legt den Fokus auf die Entwicklung technologischer Komplexe zur Herstellung von Resonatorstrukturen für resonante Sensoren auf Basis polykristallinen Siliziums für den Einsatz als Drucksensor
Experten aus Forschung und Industrie trafen sich am 17. September 2025 in Erfurt, um aktuelle Themen und Innovationen der siliziumbasierter MEMS-Technologien zu diskutieren. Die spannenden Beiträge aus Industrie und Wissenschaft gaben Anregungen für intensive Pausengespräche und neue Kontakte. Der Workshop bestätigte zum wiederholten Mal die Bedeutung von MEMS-Technologien für zukünftige industrielle Entwicklungen und zeigte konkrete Anwendungen
Unter dem Motto „Digitaler Zwilling in eine zukunftsfähige Produktion“ trafen sich am 27. August 2025 Vertreter aus Wirtschaft, Forschung und Politik im Comcenter Brühl zum 17. Erfurter TechnologieDialog.
In der begleitenden Ausstellung präsentiert das CiS Forschungsinstitut einen Teil seines Forschungs- und Leistungsportfolios sowie Ergebnisse aus dem Forschungsprojekt FIRE
Mit der erfolgreichen Entwicklung eines siliziumbasierten Hochdrucksensors mit frontbündigem Medienkontakt für einen Messbereich bis 300 MPa wurde das ambitionierte Ziel des Forschungsprojekts erreicht. Gerade der frontbündige Medienanschluss macht den Sensor ideal für sensible Bereiche mit strengen Hygienebestimmungen, etwa in der Lebensmittelindustrie oder Pharmazie
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