MEMS – Seite 6

Packaging Technologie für thermische Fluss-Sensoren

12. April 2024/in AVT, Medizintechnik, MEMS, Wasserstoff

Das neu gestartete Projekt Pack-Flu befasst sich mit dem Entwurf, der Realisierung und Charakterisierung einer robusten und innovativen Packaging-Plattform für kostengünstige mikrokalorimetrische Durchflusssensoren auf MEMS-Basis für den Einsatz in Gasleitungen oder Lüftungssystemen. Die Plattform dient als skalierbare Grundlage für Fluss-Sensoren zur Analyse und Steuerung von Luftströmung, Wasserstoff und anderen nicht-aggressiven Gasen mit bekannter Strömungsrichtung (z.B. in Pipelines) mit hoher Genauigkeit

MEMS-Pirani-Sensor für das Fein- und Hochvakuum

4. April 2024/in Druck, MEMS

Mit dem Vorhaben MinerVa startet das CiS Forschungsinstitut die Entwicklung eines MEMS-Pirani-Sensors für Druckmessung im Fein-Hochvakuumbereich. Die Anwendungsmöglichkeiten sind vielseitig, beispielsweise bei der Herstellung dünner funktionaler Schichten mittels physikalischer Dampfphasenabscheidung (PVD)

High-End-Beschleunigungssensoren

27. März 2024/in MEMS

Das Projekt beschäftigte sich mit der Entwicklung von kapazitiven Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ auf der Basis von Chip-Level-Prozessen. Hauptmerkmale sind eine deutlich erhöhte seismische Masse, ein lateral angeordneter Differenzkondensator, sowie ein hermetisches Package

Photoakustischer Gassensoren mit Referenzgassensor

13. März 2024/in MEMS

Im Mittelpunkt des abgeschlossenen Forschungsprojekts PAS stand die Entwicklung einer piezoresistiven Mikrofonkomponente auf Basis von mikromechanischen Systemen (MEMS) für hoch integrierte photoakustische Gassensoren. Der Sensor ist für einen Einsatzbereich von -40⁰C bis 140⁰C geeignet. Anwendungen liegen Bereich des Klima- und Umweltschutzes zur Verbesserung des Energiemanagements, der Prüfung der Luftqualität oder in der Medizintechnik als hochsensitive Atemgas-Sensoren.

NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors

10. Januar 2024/in Automotive, Kraft, Medizintechnik, MEMS

Im Rahmen des ZIM-Kooperationsprojektes NanoSense entwickelte das CiS Forschungsinstitut gemeinsam mit zwei weiteren Partnern einen Messkopf zur Härtemessung zur Integration in Universalprüfmaschinen und xy-Manipulatoren, bei welchem Messtrecke und Messkraft auf einer Linie liegen

Entwicklung innovativer Fügetechnologien zum Aufbau hochstabiler Druckmessumformer (EFAH)

30. November 2023/in Druck, MEMS

Um die Performance von piezoresistiven Drucksensoren zu verbessern, wurden im abgeschlossenen Forschungsprojekt EFAH verschiedene Fügetechnologien entwickelt, die besonders die kritischen Verbindungen zwischen Wandlerkern und elektrisch-mechanischem Prozessanschluss betrachten. Hierbei zeigten Glaslote deutliche Vorteile

GREAT H2 Abschlusskonferenz und grüner Wasserstoff in der Industrie

21. November 2023/in Druck, MEMS, Veranstaltungen, Wasserstoff

Im Rahmen der GREAT H2 Abschlusskonferenz präsentiert das CiS Forschungsinstitut Sensorentwicklungen zur industriellen Anwendung von grünem Wasserstoff. Dr. Klaus Ettrich, Geschäftsfeldleiter MEMS am CiS Forschungsinstitut, erläutert in seinem Pitch sensorische Lösungen für eine sichere Nutzung entlang der gesamten Wertschöpfungskette von „Grünem Wasserstoff“. In der Fachausstellung werden Demonstratoren aus entsprechenden Forschungsprojekten gezeigt

Neue Generation von IR-Emittern und Si-Dehnmessstreifen mit hohem K-Faktor

8. November 2023/in Druck, Kraft, Medizintechnik, MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Vom 13. bis 16. November 2023 öffnet mit der COMPAMED die weltweit führende Leitmesse für den medizintechnischen Zulieferbereich in Düsseldorf ihre Tore und wir präsentieren in Halle 8A an unserem Messestand H23-4 innerhalb des Gemeinschaftsstand des IVAM Fachverbandes Anwendungen siliziumbasierter Sensorik in der Medizintechnik.
Im Rahmen des COMPAMED HIGH-TECH Forum by IVAM wird Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS am 13. November ausgewählte Forschungs- und Entwicklungsergebnisse zur Thematik „Siliziumbasierte Mikrosensoren für medizinische und biowissenschaftliche Anwendungen“ vorstellen

Projektstart: QuBS – Quantenmechanische Bauelemente-Simulation

2. November 2023/in MEMS, Quanten, Simulation & Design

In der Entwicklung moderner Mikrosystemtechnik werden verschiedene Simulationsstrategien und Modelle eingesetzt. Im neuen Projekt QuBS wird Vorlaufforschung betrieben, um mittels Simulation das Design und die Eigenschaften von MEMS-Bauelementen zu verbessern. Quantenmechanische Modellierungen dienen dabei der Beschreibung des physikalischen Verhaltens der Bauelemente

CiS Forschungsinstitut auf dem 10. MikroSystemTechnik Kongress

23. Oktober 2023/in MEMS, Veranstaltungen

Heute startet der inzwischen 10. MikroSystemTechnik Kongress. Dr. Thomas Frank, Fachbereichsleiter MEMS am CiS Forschungsinstitut stellt in Dresden ausgewählte Ergebnisse von Forschungs- und Entwicklungsprojekten in verschiedenen Vortrags- und Poster Sessions vor