Das gestartete Forschungsprojekt UDM zielt auf die Entwicklung und Prototypen-Fertigung von piezoresistiven Absolut-Drucksensoren mit ultrakleinen Abmessungen, aber dennoch sehr hohen Empfindlichkeiten auf der Basis von einkristallinen MSTS-Membranen
Im gestarteten Forschungsvorhaben BerNieDru soll ein piezoresistiver Drucksensor für den Druckbereich bis 2 mbar entwickelt werden, der durch eine Anpassung der Membrangeometrie bis zu einem Berstdruck von mindestens einem 1 bar belastbar ist
Ziel des neuen Projektes „DMS in Keramik“ ist es, einen Prozess für einen Differenzdrucksensor mit einer medienbeständiger Biegeplatte aus Keramik und integriertem Si-DMS zu entwickeln. Durch eine vollständige Integration des Si-DMS während der Laminierung der Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) ist dieser hermetisch dicht eingeschlossen und geschützt vor mechanischer Manipulation
Im neu gestarteten Projekt M2NL analysiert ein Entwicklungsteam am CiS Forschungsinstitut Messdaten unterschiedlicher piezoresistiver Drucksensoren und möchte aus den Analyseergebnissen auf mechanische Parameter und deren Temperaturabhängigkeit zurückrechnen. Dabei sollen nichtlineare Effekte und deren Einfluss in der Simulation mit dem FEM-Tool ANSYS Multiphysics untersucht werden
Auf dem Innovationstag Mittelstand präsentiert das CiS Forschungsinstitut am 13. Juni 2024 in Berlin die Ergebnisse des Forschungsprojektes „SiDMeses“. Ziel war hierbei die Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren zu verbessern. Dabei konzentrierten sich die Forschungsarbeiten darauf, Montagespannungen zu minimieren und hohe Überlastfestigkeiten zu erreichen
Vom 11. bis 13.06.2024 freuen wir uns auf einen inspirierenden Dialog mit Ihnen auf unserem Messetand der SENSOR+TEST in Nürnberg. Wir präsentieren aktuelle Forschungsergebnisse in der Entwicklung sehr hochauflösender kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensoren für Neigungs- bzw. Nivellierungsmessungen sowie spezieller Tandemdioden für ein kompaktes Stehende-Wellen-Interferometer. Zeitgleich findet die 22. GMA-Tagung statt. Hier stellt das CiS Forschungsinstitut ein Drucksensorkonzept auf Diamantbasis vor und referiert in einem 2. Vortrag über schnelle IR-MEMS-Strahler für NDIR-Anwendungen
Für die Entwicklung von piezoresistiven Drucksensoren können verschiedene Simulationsmethoden eingesetzt werden. Ziel des gestarteten Forschungsprojekts mMoDS ist es, das Systemmodell durch modulare Teilmodelle zu beschreiben, um einen effizienten Designprozess unter Einbezug von verschiedenen Aufbau-Varianten sowie technologischen Varianten zu ermöglichen und so die Anzahl von detaillierten, rechenintensiven FEM-Simulationen zu reduzieren
Ziel des gestarteten Forschungsprojekts LaWaDos ist die Herstellung von hochtemperaturstabilen Kontaktmetallisierungen für Drahtbondkontakte an Sensorelementen, die eine bessere Überwachung thermischer Prozesse erlauben
Das neu gestartete Projekt Pack-Flu befasst sich mit dem Entwurf, der Realisierung und Charakterisierung einer robusten und innovativen Packaging-Plattform für kostengünstige mikrokalorimetrische Durchflusssensoren auf MEMS-Basis für den Einsatz in Gasleitungen oder Lüftungssystemen. Die Plattform dient als skalierbare Grundlage für Fluss-Sensoren zur Analyse und Steuerung von Luftströmung, Wasserstoff und anderen nicht-aggressiven Gasen mit bekannter Strömungsrichtung (z.B. in Pipelines) mit hoher Genauigkeit
Mit dem Vorhaben MinerVa startet das CiS Forschungsinstitut die Entwicklung eines MEMS-Pirani-Sensors für Druckmessung im Fein-Hochvakuumbereich. Die Anwendungsmöglichkeiten sind vielseitig, beispielsweise bei der Herstellung dünner funktionaler Schichten mittels physikalischer Dampfphasenabscheidung (PVD)
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