Einfallsrichtung von Licht mikrosensorisch erkennen
Das CiS Forschungsinstitut hat einen winzigen Mikrochip zur Bestimmung der Lichteinfallsrichtung entwickelt. Die kleine Bauform und die einfache Integrierbarkeit sowie die massentaugliche MEMS-Fertigungstechnologie zeichnen das Bauteil aus. Der monolithische Sensor basiert auf vier integrierten Fotodioden in einem 3D-strukturierten Siliziumsubstrat

