Die 3D-Strukturierung von Silizium gewinnt für optische und opto-elektronische Anwendungen der Mikrosystemtechnik immer mehr an Bedeutung. Für die zuverlässige und verlustarme Ankopplung von Lichtleitfasern an Fotodioden entwickelte das CiS Forschungsinstitut neue Mikrostrukturierungstechnologien zur Herstellung von Kavitäten mit Flankenwinkeln von 45° und 90° und hoher optischer Absorption der sensitiven Einkoppelfläche
Für den Einsatz von Sensorsystemen unter Extrembedingungen, wie in EMV-kritischen oder Ex-geschützten Bereichen verbietet sich häufig eine galvanische Verbindung der Sensoren für die Energiezuführung bzw. Signalübertragung. Gemeinsam mit Industriepartnern entwickelte dafür das applikationszentrum mikrooptische systeme des CiS Forschungsinstituts eine zu vorhandenen Feldbussystemen kompatible Lösung
Auf Basis spezieller Chip- und Montagetechnologien aus dem CiS Forschungsinstitut hat die ILK Institut für Luft- und Kältetechnik gGmbH, Dresden ein kostengünstiges Multiparameter-System zur kontinuierlichen Überwachung von Feuchte, Blasenbildung, Temperatur und Füllstand in Kältemittelanlagen entwickelt.
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