Für seine Dissertation „Prozess- und Sensorentwicklung für fertigungsgerechte hochtemperaturtaugliche Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis“ wurde unser Mitarbeiter Dr. Robert Täschner mit dem Silicon Science Award ausgezeichnet. Seine Untersuchungen und Ergebnisse leisten einen wissenschaftlich fundierten und in vielen Aspekten praxisrelevanten Beitrag zum Entwurf miniaturisierter Drucksensoren für Einsatzbereiche bis 300°C. Dabei betrachtet er konsequent alle Bedingungen für die Prozesstauglichkeit und damit Serienfertigung. Untersetzt mit zahlreichen Experimenten sowie umfangreicher mechanischer und elektrischer Tests werden quantitativ statistische Aussagen abgesichert.
Dr. Robert Täschner fertigte seine Dissertation an der TU Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, unter Leitung von Prof. Jens Müller, an.
Das CiS Forschungsinstitut freut sich sehr für diese Auszeichnung und nutzt die gewonnenen Erkenntnisse für industriegetriebene Forschungsprojekte.
Der Silicon Science Award wird durch den CiS e.V. für herausragende wissenschaftliche Leistungen auf dem Gebieten der Mikrosystemtechnik vergeben.
