Infrarot-Strahler gewinnen zunehmend an Bedeutung als Lichtquellen für gassensorische Anwendungen in der Prozess- und Umweltüberwachung. Der Vorteil gegenüber klassischen Glühwendeln ist die hohe Miniaturisierbarkeit, die erreichbare Dynamik (= schnelle Signal-Modulation), höhere Toleranz auf Vibrationen sowie die, durch gleichzeitige Fertigung und Hausung tausender Bauteile auf Waferebene, hohen Kostensenkungspotentiale.
MEMS-basierte Standard-IR-Strahler besitzen einen geringen Oberflächenemissionsgrad von teilweise unter 40%. In diesem neuen Forschungsprojekt soll der Emissionsgrad im Zentrum der Strahler-Membran auf 80% erhöht werden. Dadurch soll die Strahlstärke so weit gesteigert werden, dass sie High Performance IR-Strahlern gleichkommt. Die IR-Strahler werden mittels Standard-Technologie vorgefertigt. Anschließend soll in einem Backend-Beschichtungsprozess die Funktion der IR-Strahler signifikant verbessert werden. Mit diesem veränderten Prozess sollen die Herstellungskosten wesentlich gesenkt werden und gleichzeitig die Qualität so gesteigert, dass sie High Perfomance IR-Strahlern entsprechen kann.
Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten im Projekt „Strahler mit Farbe“ (StraMiFa) werden gefördert durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz.
FKZ: 49MF220022
