Simulationen des Designs und der Eigenschaften mikroelektronischer und mikroelektromechanischer Bauelemente und -systeme sind heute wesentlicher Bestandteil der kosten- und zeiteffizienten Herstellung. Hierfür sind zahlreiche, meist kommerzielle und damit auch kostenintensive Programme und Programmpakete verfügbar. Diese bieten jedoch fast immer nur Lösungen für einzelne Teilschritte mit oft fehlenden Schnittstellen. Insbesondere trifft das auf die Entwicklung mikroelektromechanischer Bauelemente (MEMS) zu, für die ein hoher Grad an Flexibilität für die zum Teil parallel zu entwickelnden bzw. anwendungsspezifisch zu modifizierenden Komponenten und Systeme erforderlich ist.
Das neu gestartete Vorlaufforschungsprojekt im CiS Forschungsinstitut beinhaltet das Ziel, vorhandene Programme mit eigenen Lösungen so zu verbinden, dass ein durchgehender Simulationsablauf entsteht. Das wird beispielhaft an der Erarbeitung eines komplexen Simulationstools zur Entwicklung hochpräziser und langzeitstabiler Drucksensoren dargestellt werden.
Mit diesen Forschungsarbeiten werden fachliche Grundlagen als Vorlauf geschaffen, die Vorhersagekraft von Simulationsergebnissen zu verbessern, und gleichzeitig Produktentwicklungen kosten- und ressourceneffizienter zu gestalten.
Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten im Projekt „Komplexe Tools zur Bauelementesimulation“ (KTB) werden gefördert durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz.
FKZ: 49VF220014
