Die microTEC Südwest Clusterkonferenz findet vom 15. bis 16. Mai 2023 in Freiburg statt. Das bereits zehnte Auflage biete eine Plattform für Networking und Expertengespräche und legt den Fokus auf wichtige Zukunftstrends und neue Anwendungsfelder mit Mikrosystemtechnik.
In der Session A2 „Mikrosensorik“ wird Dr. Ingo Tobehn-Steinhäuser am Montag, 15. Mai über die Entwicklung eines neuartigen Wärmestromsensors auf der Basis von Siliziumtechnologien berichten. Basis hierfür bildet die funktionale Einheit über in Reihe geschaltete Temperaturdioden. Diese können die physikalische Größe Temperatur als präzisen Absolutwert sowie auch hochdynamisch als vektorielle Größe erfassen. Die Integration innovativer hochauflösender Temperatursensoren mit einem mehrdimensionalen Kennlinienfeld bietet die Möglichkeit zur Selbstdiagnose, einer grundlegenden Anforderung der Industrie. Der Sensor weist einen größeren Signalhub auf und kann preisgünstig hergestellt werden.
Entsprechende neuartige Wärmestromsensoren können nicht nur herkömmliche Primärwandler zur Ermittlung von Wärmeenergiemengen ergänzen oder ersetzen, wie diese beispielsweise in herkömmlichen Heizkostenverteilern Anwendung finden, sondern bieten sich insbesondere hinsichtlich der präzisen Messung von Oberflächentemperaturen an.
Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten werden im Forschungsprojekt „Si Heat-Flux Sensor“ (Si-HFS) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) gefördert.
Förderkennzeichen: 49MF220105
