Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor
Qualitätsbewertung und Prozesskontrolle sind wichtige Werkzeuge bei der Produktion qualitativ hochwertiger Erzeugnisse. Bei der Oberflächenbeschichtung ist es erforderlich, wesentliche Eigenschaften der aufgebrachten Schichten zu bestimmen. Dies schließt die Schichtdicke und den Brechungsindex ein.
Der im CiS Forschungsinstitut entwickelte kompakte Sensor misst die polarisationsabhängige Reflexion von zwei verschiedenen Single-Mode-Lasern unter geneigten Einfallswinkeln