Projektabschluss KTB: Komplexe Tools zur Bauelementesimulation
Im Projekt KTB wurden für die Simulation der Kennlinien vom MEMS-Bauelementen verschiedene Programme zu einem komplexen Simulationstool für die Entwicklung hochpräziser und langzeitstabiler Drucksensoren zusammengeführt, sodass ein durchgehender Simulationsablauf möglich ist
