Projektabschluss PhIR-10 – Gasdetektion auf Basis von in Thermopiles integriertem Absorber
Im Fokus des abgeschlossenen Projektes PhIR-10 stand die Entwicklung von Thermopiles mit Absorbern basierend auf photonischen Strukturen und deren Fertigung mit etablierten Halbleiterverfahren. Mittels Simulationen wurden Strukturen ermittelt und anschließend Thermopiles mit diesen Strukturen gefertigt und analysiert